新硅能微电子(苏州)有限公司孙磊获国家专利权
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龙图腾网获悉新硅能微电子(苏州)有限公司申请的专利IGBT器件结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223094110U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422159149.6,技术领域涉及:H10D12/00;该实用新型IGBT器件结构是由孙磊;陈译;陆佳顺;杨洁雯设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本IGBT器件结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种IGBT器件结构,位于P阱区内的第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽分别延伸至所述N型轻掺杂漂移层内,所述第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽内分别具有第一导电多晶硅、第二导电多晶硅和第三导电多晶硅,此第一导电多晶硅、第二导电多晶硅和第三导电多晶硅分别与第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽各自内壁之间分别具有第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层;位于第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽周边分别具有一第一N型重掺杂发射极区、第二N型重掺杂发射极区和第三N型重掺杂发射极区。本实用新型既降低了IGBT器件工作时候的导通压降,降低了功率损耗和产生的热量,提高了IGBT器件的可靠性,也提高了开关速度和减少了开关损耗。
本实用新型IGBT器件结构在权利要求书中公布了:1.一种IGBT器件结构,其特征在于:包括:硅片(1)、位于硅片(1)上部的P阱区(2)和位于P阱区(2)下方的N型轻掺杂漂移层(3),一位于硅片(1)下部的P型重掺杂集电区(4)与N型轻掺杂漂移层(3)之间设置有一N型电场阻止层(5); 位于P阱区(2)内的第一沟槽(61)、第二沟槽(62)和第三沟槽(63)分别延伸至所述N型轻掺杂漂移层(3)内,所述第一沟槽(61)、第二沟槽(62)和第三沟槽(63)内分别具有第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)和第三导电多晶硅(73),此第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)和第三导电多晶硅(73)分别与第一沟槽(61)、第二沟槽(62)和第三沟槽(63)各自内壁之间分别具有第一氧化层(81)、第二氧化层(82)和第三氧化层(83); 位于第二沟槽(62)周边具有一第二N型重掺杂发射极区(92),所述第一沟槽(61)靠近第二沟槽(62)一侧的周边具有第一N型重掺杂发射极区(91),所述第三沟槽(63)靠近第二沟槽(62)一侧的周边具有第三N型重掺杂发射极区(93);一N型重掺杂中间层(11)位于第一沟槽(61)、第二沟槽(62)之间,所述N型重掺杂中间层(11)位于P阱区(2)底部与N型轻掺杂漂移层(3)之间,位于第二沟槽(62)和第三沟槽(63)之间的P阱区(2)与N型轻掺杂漂移层(3)接触; 所述第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)和第三导电多晶硅(73)各自上表面分别覆盖有第一介质层(101)、第二介质层(102)和第三介质层(103),一发射极金属层(12)覆盖于第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92)和位于第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92)之间的P阱区(2)各自的上表面,一集电极金属层(13)覆盖于P型重掺杂集电区(4)与N型电场阻止层(5)相背的表面。
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