东莞市译码半导体有限公司陈典文获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市译码半导体有限公司申请的专利一种晶圆承载吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092853U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422153314.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆承载吸附装置是由陈典文;殷志鹏设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆承载吸附装置，包括：吸附头的顶端和底端均贯穿有三个调节柱，调节柱的外表面设置有吸附机构，吸附头的尾端固装有连接板，连接板的内部左端开设有调节腔，调节腔的内部设置有锁紧机构；吸附机构包括有固装于调节柱外表面的固定板、固装于固定板外侧的吸附板、均匀分布于吸附板内侧的吸盘；锁紧机构包括有安装于调节腔内部左端的电动推杆、贯穿于调节腔内部右端并与电动推杆连接的横杆、固装于横杆右端的拉绳、位于拉绳另一端的球轴、与球轴活动连接的软杆；该种晶圆承载吸附装置，吸附机构通过增强晶圆的稳定吸附确保晶圆在搬运中的牢固固定；锁紧机构则通过增加夹持力度使得晶圆在搬运过程中的夹持更加安全和稳定。
本实用新型一种晶圆承载吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载吸附装置，包括：吸附头1，其特征在于： 所述吸附头1的顶端和底端均贯穿有三个调节柱4，所述调节柱4的外表面设置有吸附机构，所述吸附头1的尾端固装有连接板2，所述连接板2的内部左端开设有调节腔3，所述调节腔3的内部设置有锁紧机构； 吸附机构包括有固装于调节柱4外表面的固定板401、固装于固定板401外侧的吸附板402、均匀分布于吸附板402内侧的吸盘403； 锁紧机构包括有安装于调节腔3内部左端的电动推杆301、贯穿于调节腔3内部右端并与电动推杆301连接的横杆302、固装于横杆302右端的拉绳303、位于拉绳303另一端的球轴304、与球轴304活动连接的软杆305。
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