上海积塔半导体有限公司周勤军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利晶圆缺口定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092849U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422148175.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆缺口定位装置是由周勤军;王欢;李振峰;邢小柳;庞云康;曹辉;曾上游;季鸣;邓攀设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺口定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆缺口定位装置。晶圆缺口定位装置，晶圆为具有缺口的透明或半透明晶圆，包括：载片台，用于承载晶圆，载片台具有相对设置的第一、第二侧；光发射器，位于载片台第一侧，用于向晶圆发射出射光，出射光能够在晶圆调整至正确位置时穿过缺口；光接收器，位于载片台第二侧，用于接收出射光，光接收器能够在接收到的出射光的光强大于或等于一预设阈值时开启或关闭；光强调节器，位于光发射器与光接收器之间，光强调节器能够调节出射光的光强，以使穿过晶圆的缺口并经由光强调节器调节后的出射光的光强大于或等于预设阈值。上述技术方案，通过在光发射器与光接收器之间设置一光强调节器，使经过光强调节器的出射光的光强减弱。
本实用新型晶圆缺口定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺口定位装置，所述晶圆为具有缺口的透明或半透明晶圆，其特征在于，包括： 载片台，用于承载所述晶圆，所述载片台具有相对设置的第一侧与第二侧；光发射器，位于所述载片台的所述第一侧，用于向所述晶圆发射出射光，所述光发射器发出的出射光能够在所述晶圆调整至正确位置时穿过所述缺口； 光接收器，位于所述载片台的所述第二侧，用于接收所述光发射器发出的出射光，所述光接收器能够在接收到的出射光的光强大于或等于一预设阈值时开启或关闭； 光强调节器，位于所述光发射器与所述光接收器之间，所述光强调节器能够调节所述出射光的光强，以使穿过所述晶圆的所述缺口并经由所述光强调节器调节后的所述出射光的光强大于或等于所述预设阈值。
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