深圳市大族半导体装备科技有限公司方林志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利载台装置及激光退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092852U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422106909.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型载台装置及激光退火设备是由方林志;刘佳鑫;童灿钊;巫礼杰;尹建刚;韩子娟;王帆帆设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本载台装置及激光退火设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种载台装置及激光退火设备，包括载台、温度传感器和控制器。载台用于承载晶圆；温度传感器能够与载台承载的晶圆间隔设置，温度传感器用于检测载台承载的晶圆的温度，以生成温度信号；第一吹气件，设有第一吹气孔，第一吹气孔能够与保护气气源连通，第一吹气孔用于朝载台承载的晶圆吹保护气，以降低晶圆的温度；控制器与温度传感器通信连接，控制器用于接收温度信号，以调节保护气气源向第一吹气孔输出的保护气的流量和流速。本申请的载台装置能够方便、快速地实现晶圆的温度检测和控制。
本实用新型载台装置及激光退火设备在权利要求书中公布了：1.载台装置，其特征在于，包括： 载台，用于承载晶圆； 温度传感器，能够与所述载台承载的所述晶圆间隔设置，所述温度传感器用于检测所述载台承载的所述晶圆的温度，以生成温度信号； 第一吹气件，设有第一吹气孔，所述第一吹气孔能够与保护气气源连通，所述第一吹气孔用于朝所述载台承载的所述晶圆吹保护气，以降低所述晶圆的温度； 控制器，与所述温度传感器通信连接，所述控制器用于接收所述温度信号，以调节所述保护气气源向所述第一吹气孔输出的所述保护气的流量和流速。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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