芯恩(青岛)集成电路有限公司张静雯获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利检测设备及晶圆解胶系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092851U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422032093.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型检测设备及晶圆解胶系统是由张静雯;刘浩;史秀丽设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测设备及晶圆解胶系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种检测设备及晶圆解胶系统。其中，所述检测设备是采用吸取单元中的真空吸笔对晶圆上的晶粒进行吸取，并利用吸取的真空值来表征解胶机对切割膜的解胶程度。不仅能够有效判断出所述晶圆是否经过解胶，还能够精准量化所述解胶程度，且操作简便，利于提高工艺效率。以及，在所述晶圆解胶系统中，所述检测设备至少将所述解胶程度反馈至所述解胶机中，一方面利于所述解胶机根据所述解胶程度优化其工艺参数，提高解胶效果；另一方面利于长期监测所述解胶机内器件老化状态，预警机台失效。
本实用新型检测设备及晶圆解胶系统在权利要求书中公布了：1.一种检测设备，用于检测解胶机对切割膜的解胶程度，且所述切割膜贴附于晶圆表面，其特征在于，所述检测设备包括：吸取单元和检测单元； 所述吸取单元包括真空吸笔，用于吸取经切割后的所述晶圆上的晶粒； 所述检测单元包括真空记录仪；所述真空记录仪与所述真空吸笔相接，至少用于获取所述真空吸笔吸取到所述晶粒时的真空值；且所述真空值用于表征所述解胶程度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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