上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092819U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421946878.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体设备，涉及半导体技术领域。该半导体设备包括腔体、进气机构、喷淋装置、工艺气路和吹扫气路，腔体内用于放置基底；进气机构设置于腔体的底部，进气机构与腔体相连通，进气机构用于向腔体内通入吹扫气体；工艺气路设置于腔体的顶部，工艺气路与腔体相连通；喷淋装置设置于腔体内，喷淋装置靠近工艺气路，吹扫气路与工艺气路相连通，其能够减轻基底的污染程度，提高基底的工艺质量。
本实用新型一种半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备，其特征在于，包括： 腔体1，所述腔体1内用于放置基底9； 进气机构，所述进气机构设置于所述腔体1的底部，且与所述腔体1相连通，所述进气机构用于向所述腔体1内通入吹扫气体； 工艺气路3，所述工艺气路3设置于所述腔体1的顶部，且与所述腔体1相连通； 喷淋装置2，所述喷淋装置2设置于所述腔体1内，且靠近所述工艺气路3； 吹扫气路4，所述吹扫气路4与所述工艺气路3相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海原力芯辰科技有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区汇发路301号盛剑大厦；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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