丽水睿昇半导体科技有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉丽水睿昇半导体科技有限公司申请的专利一种吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223092850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421891239.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种吸盘是由姚力军;昝小磊;陈余彬;占卫君;张跃飞设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体检测技术领域，公开了一种吸盘，用于吸附晶圆。该吸盘包括吸附部及安装部。吸附部上设置有吸附面，晶圆放置于吸附面上。安装部连接于吸附部背离吸附面的一侧，安装部被配置为用于与安装座相连。安装部上开设有抽气口，抽气口被配置为与抽气机构连接；吸附面上开设有多个同心圆槽，每个同心圆槽内均嵌设有密封件，每个密封件上均沿周向间隔设置有多个吸附孔，相邻的两个同心圆槽之间设置有气流通道，每个吸附孔均与气流通道连通，且气流通道连通于抽气口。在抽气机构的抽吸作用下，晶圆能够被稳定地吸附。该吸盘可连接于安装座上，当安装座进行高速转动时，该吸盘也可保证晶圆吸附的稳定性。
本实用新型一种吸盘在权利要求书中公布了：1.一种吸盘，用于吸附晶圆，其特征在于，包括： 吸附部1，所述吸附部1上设置有吸附面，所述晶圆放置于所述吸附面上；所述吸附面上开设有多个同心圆槽，每个所述同心圆槽内均嵌设有密封件11，每个密封件11上均沿周向间隔设置有多个吸附孔，相邻的两个所述同心圆槽之间设置有气流通道12，每个所述吸附孔均与所述气流通道12连通； 安装部2，连接于所述吸附部1背离所述吸附面的一侧，所述安装部2被配置为用于与安装座相连；所述安装部2上开设有抽气口21，所述抽气口21连通于所述气流通道12，所述抽气口21被配置为与抽气机构连接； 在所述抽气机构的抽吸作用下，所述晶圆能够被吸附于所述吸附面上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人丽水睿昇半导体科技有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-290；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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