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龙图腾网获悉乾昇真空技术(深圳)有限公司申请的专利一种泵体清扫方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118622678B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410753686.5，技术领域涉及：F04B51/00；该发明授权一种泵体清扫方法、装置及电子设备是由于茂;刘唐先;曾欣怡设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种泵体清扫方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种泵体清扫方法，包括：获取检测模块采集到的检测数据，检测数据包括第一检测单元对应的第一检测数据、第二检测单元对应的第二检测数据以及第三检测单元对应的第三检测数据；根据第一检测数据、第二检测数据以及第三检测数据，确定腔室的清洁程度值；根据清洁程度值，确定清扫模块的控制策略，控制策略包括清洁气体存储单元以及若干个清洁气体吹扫单元的控制指令；将控制策略发送到控制模块，以使控制模块控制清洁气体存储单元以及若干个清洁气体吹扫单元对腔室进行清扫。本发明可以解决现有清扫方法中存在对泵体清洗不干净，导致泵的使用寿命低的问题。

本发明授权一种泵体清扫方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种泵体清扫方法，其特征在于，所述泵体清扫方法用于泵体清扫系统的主控模块，所述泵体清扫系统包括主控模块、控制模块、检测模块以及清扫模块，所述主控模块与控制模块电连接，所述控制模块分别与所述检测模块以及所述清扫模块连接，所述检测模块包括阵列设置在腔室内壁的若干个第一检测单元，设置在所述腔室上游的第二检测单元，以及依次设置在所述腔室下游的若干个第三检测单元，所述清扫模块包括清洁气体存储单元以及若干个清洁气体吹扫单元，所述清洁气体存储单元与若干个所述清洁气体吹扫单元管道连通，所述若干个所述清洁气体吹扫单元均匀排布在所述腔室内壁靠近所述腔室上游的一端，所述方法包括以下步骤： 获取检测模块采集到的检测数据，所述检测数据包括第一检测单元对应的第一检测数据、所述第二检测单元对应的第二检测数据以及所述第三检测单元对应的第三检测数据； 根据所述第一检测数据、所述第二检测数据以及所述第三检测数据，确定所述腔室的清洁程度值；具体根据所述第一检测数据以及所述腔室的形状参数，确定所述腔室内的第一清洁程度值，所述形状参数为对所述腔室内壁进行扫描得到；根据所述第一检测数据、所述第二检测数据以及所述第三检测数据，预测腔室内的第二清洁程度值；基于所述第一清洁程度值以及所述第二清洁程度值，确定所述腔室的清洁程度值，具体包括：确定第一权重与第二权重，所述第一权重与所述第一清洁程度值对应，所述第二权重与所述第二清洁程度值对应；所述确定第一权重与第二权重的步骤包括：根据所述腔室的历史工作次数、历史单次工作时长以及所述腔室的历史清扫次数，计算第一权重与第二权重，所述第一权重与所述第二权重之和为1；所述第一权重与所述第二权重的计算如下所示： w2＝1-w1 其中，w1为第一权重，w2为第二权重，N为历史工作次数，ti为第i次历史单次工作时长，tmax为最大的历史单次工作时长，m为历史清扫次数，e-m,1min表示取e-m和1中较小的值；通过所述第一权重以及所述第二权重，对所述第一清洁程度值以及所述第二清洁程度值进行加权求和，得到所述腔室的清洁程度值； 根据所述清洁程度值，确定所述清扫模块的控制策略，所述控制策略包括所述清洁气体存储单元以及若干个所述清洁气体吹扫单元的控制指令； 将所述控制策略发送到所述控制模块，以使所述控制模块控制所述清洁气体存储单元以及若干个所述清洁气体吹扫单元对所述腔室进行清扫。

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