大连理工大学;杭州电子科技大学;西南科技大学;海南大学;中建三局集团有限公司;中建三局集团(海南)有限公司张振宇获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学;杭州电子科技大学;西南科技大学;海南大学;中建三局集团有限公司;中建三局集团(海南)有限公司申请的专利一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116814167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310721027.9，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用是由张振宇;刘璐;周红秀;孟凡宁;石春景;冯俊元;余家欣;文伟;王伟设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种化学机械抛光液，具体是一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用。本发明抛光液包括二氧化铈、海藻酸钠和蚕丝溶液，抛光液包括0.005wt％～0.05wt％二氧化铈、0.0005wt％～0.04wt％海藻酸钠、0.005wt％～0.05wt％蚕丝溶液，其余为水。本发明抛光液的成分来源于天然产物，绿色环保，抛光液制备简单，分散性好，抛光效率MRR高达28.222μmh，同时极大的降低了表面粗糙度Sa，Sa值为0.098nm，抛光后的表面光滑平整，无缺陷。
本发明授权一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液包括0.005wt%~0.05wt%二氧化铈、0.0005wt%~0.04wt%海藻酸钠、0.005wt%~0.05wt%蚕丝溶液，其余为水； 所述蚕丝溶液包括10wt%~20wt%蚕丝、20wt%~40wt%尿素、10wt%~25wt%氢氧化钠；所述蚕丝溶液的制备方法为：将蚕丝、尿素、氢氧化钠及去离子水混合均匀后，-12℃低温冷冻24h，室温解冻后即得溶解均匀的蚕丝溶液。
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