买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京晨晶精仪电子有限公司申请的专利一种三电极真空度测量传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115790961B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211427458.6，技术领域涉及：H01L21/00；该发明授权一种三电极真空度测量传感器是由王杰;林立男;闫冉;王松杰;宋冬谊;刘旭强设计研发完成，并于2022-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三电极真空度测量传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及真空计技术领域，提供一种三电极真空度测量传感器其包括：壳体；电极极板，电极极板设于壳体的内部，并将壳体分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭腔；第一电极，第一电极的第一端穿设于封闭腔并与弹性薄膜连接，第一电极的第二端穿过参考腔并从壳体伸出；第二电极和第三电极，第二电极和第三电极的第一端与电极极板连接，第二电极和第三电极的第二端穿过参考腔并从壳体伸出。本发明通过将弹性薄膜的电极单独引出，形成内环电极、外环电极和公共电极三个单独极板，使得形成内环电容器和外环电容器，提高了传感器自身的抗杂散电容的能力，减弱了壳体带来的串扰，增强了稳定性。

本发明授权一种三电极真空度测量传感器在权利要求书中公布了：1.一种三电极真空度测量传感器，其特征在于，包括： 壳体； 电极极板，所述电极极板设于所述壳体的内部，并将所述壳体分隔形成参考腔和工艺腔； 弹性薄膜，所述弹性薄膜设于所述工艺腔内，且与所述电极极板连接形成封闭腔； 第一电极，所述第一电极的第一端穿设于所述封闭腔并与所述弹性薄膜连接，所述第一电极的第二端穿过所述参考腔并从所述壳体伸出； 第二电极，所述第二电极的第一端与所述电极极板连接，所述第二电极的第二端穿过所述参考腔并从所述壳体伸出； 第三电极，所述第三电极的第一端与所述电极极板连接，所述第三电极的第二端穿过所述参考腔并从所述壳体伸出； 在计算气压值时，所述第二电极与所述第一电极形成内环电容器，所述第三电极与所述第一电极形成外环电容器，所述工艺腔气压的变化会导致所述弹性薄膜与内环电容、外环电容之间的间距变化，进而引起内、外环电容差值的变化，通过计算所述第二电极、所述第一电极之间的差值与所述第三电极、所述第一电极之间的差值，将内外环差值做数字解调、滤波处理后即可得到与气压值对应的模拟量输出信号； 还包括：等温体，所述等温体为中空结构，所述壳体设于等温体的内部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晨晶精仪电子有限公司，其通讯地址为：101200 北京市平谷区中关村科技园区平谷园马坊工业园2区21号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。