北京大学;常州隆斯克普电子科技有限公司鞠晶获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学;常州隆斯克普电子科技有限公司申请的专利一种电镜样品制备设备和制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115683785B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211401179.2,技术领域涉及:G01N1/28;该发明授权一种电镜样品制备设备和制备方法是由鞠晶;张莉;马玉国;刘晓斌;宋岚;张科阳;李涛;张谷一设计研发完成,并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电镜样品制备设备和制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种电镜样品制备设备和制备方法,该制备设备包括:加工腔室,用于容纳样品,所述加工腔室形成密闭空间与外界环境隔离开;样品台,用于在加工样品的过程中承载样品;飞秒激光器模块,用于对样品进行飞秒激光加工;离子枪模块,用于对样品进行离子加工。本发明的电镜样品制备方法先对样品进行飞秒激光加工,接着进行离子束减薄加工,避免了现有技术中采用研磨、凹坑等复杂操作,在一台设备上即可完成样品的制备,减少了设备数量,降低成本,并且样品在加工过程中始终处于加工腔室中,无需对样品在不同设备上转移,节省了工序;并且先用飞秒激光对样品进行粗加工,然后再用离子束进行精细加工,可以大大缩短样品的制备时间。
本发明授权一种电镜样品制备设备和制备方法在权利要求书中公布了:1.一种电镜样品制备设备,其特征在于,该设备包括: 加工腔室,用于容纳样品,所述加工腔室是主腔体和主腔体盖板形成的密闭空间的密闭加工腔室,与外界环境隔离开;主腔体盖板设置于主腔体前面;紧邻主腔体设置预抽仓,预抽仓与主腔体之间通过通孔连通,包括:主腔体背面开有一通孔,在主腔体背面的所述通孔位置设置预抽仓,预抽仓整体覆盖主腔体背面的所述通孔,与顶部预抽仓盖板扣合一起形成样品预备腔室,预抽仓盖板在打开和关闭状态切换且与预抽仓密封配合;预抽仓的后面板也开有一通孔,送样柱在驱动系统驱动下穿过预抽仓的后面板的所述通孔和预抽仓的前面板的所述通孔水平往复移动,送样柱将样品在样品预备腔室和密闭加工腔室之间传送,送样柱与预抽仓的前面板的所述通孔和或预抽仓的后面板的所述通孔密封配合; 样品台,用于在加工样品的过程中承载样品,设置在送样柱的前端; 飞秒激光器模块,用于对样品进行飞秒激光加工,包括:至少一飞秒激光器和至少一驱动飞秒激光器到指定位置的飞秒激光器驱动机构,飞秒激光器驱动机构包括机械臂或呈环状设置于主腔体盖板上的飞秒激光器转盘; 离子枪模块,用于对样品进行离子加工,包括:第一离子枪和第一离子枪转盘、第二离子枪和第二离子枪转盘,第一离子枪转盘和第二离子枪转盘构成驱动第一离子枪和第二离子枪到指定位置的离子枪驱动机构,第一离子枪转盘和第二离子枪转盘为圆环状并设置于主腔体盖板上。
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