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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司申请的专利一种调压板、安装方法和晶圆传输设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211354883.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种调压板、安装方法和晶圆传输设备是由叶莹;孟亚东;张庆;鲍伟成;王文广;薛增辉;王旭晨设计研发完成，并于2022-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调压板、安装方法和晶圆传输设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种调压板、安装方法和晶圆传输设备，其中调压板包括包括平行且间隔设置的两条固定侧板，两条固定侧板的上方共同设置有若干可拼接的板体，板体能沿固定侧板滑动且和固定侧板可拆卸连接。板体通过固定组件限定在固定侧板上，固定组件能在前后、左右和上下方向对板体进行限位。固定组件通过多个限位零件，能快速限定板件的位置，并能快速将板件从固定侧板上拆卸。同时多个限位零件相互配合，能在各个方向对板件进行限位，防止板件各个方向上的晃动，提高稳定性。

本发明授权一种调压板、安装方法和晶圆传输设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置的调压板，包括两个平行设置的固定侧板，两个所述固定侧板的上方共同设置有若干板体，所述板体通过固定组件进行限位，其特征在于：所述固定组件包括 限位零件C，所述限位零件C沿固定侧板长度方向间隔分布，所述限位零件C包括第一限位面和第二限位面，所述第一限位面、第二限位面和固定侧板上端面限定形成供板体侧边插入并滑动的插槽C，所述板体位于两个固定侧板上的插槽C之间，所述第一限位面与固定侧板的上端面平行，所述第二限位面和第一限位面垂直； 限位零件B，所述限位零件B位于相邻的板体之间，所述限位零件B包括一个斜面B，所述限位零件B固定在一个板体上，相邻所述板体具有一个能抵接在斜面B上的第一折边，所述斜面B为与其抵接的板体提供垂直方向和沿板体滑动的水平方向的压力； 所述固定组件还包括限位零件A，所述板体包括宽度不同的宽板和窄板，且所述窄板的两侧均为宽板，一个所述固定侧板上开设有与窄板对应的缺口，所述限位零件A设置在缺口处且和窄板两侧的宽板固定连接，所述限位零件A用于卡接所述窄板； 所述限位零件A包括第三限位面、第四限位面和第五限位面，所述第三限位面和第五限位面均与窄板的上端面平行，且所述第三限位面和第五限位面分别位于窄板的上下两侧；所述第四限位面与第三限位面垂直且与第二限位面平行； 所述窄板位于缺口的一侧设置有向下折弯的第二折边，限位零件A还包括能与第二折边的下端面抵接的第六限位面。

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