宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种铬铝旋转管靶的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115647363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211260943.9,技术领域涉及:B22F3/15;该发明授权一种铬铝旋转管靶的制备方法是由姚力军;潘杰;吴东青;黄洁文设计研发完成,并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铬铝旋转管靶的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种铬铝旋转管靶的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:1以两根内径不同的铝管作为内外包套,所述内外包套同轴放置并形成缝隙,经盖板对所述缝隙的一端进行密封,混合均匀的铬粉和铝粉装入一端密封的缝隙,用带孔盖板对所述缝隙另一端进行密封,得到靶材包套;2对所述靶材包套进行脱气,然后进行热等静压,得到成型靶材,去除所述成型靶材外部的盖板、带孔盖板和包套,得到铬铝旋转靶坯;3不锈钢管同轴放置于所述铬铝旋转靶坯内部,进行铟焊,得到所述铬铝旋转管靶;所述制备方法利用铝管作为热等静压包套,并用不锈钢管作为背管,成本降低的同时保证了管靶的均匀度和强度。
本发明授权一种铬铝旋转管靶的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种铬铝旋转管靶的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤: (1)以两根内径不同的铝管作为内外包套,所述内外包套同轴放置并形成宽度为铬铝旋转靶坯的预期厚度的2-3倍的缝隙,经盖板对所述缝隙的一端进行焊接,粒度为80-200目,质量比为10-50:50-90的铬粉和铝粉,经过三维混粉装置混合均匀,然后装入一端密封的缝隙,用带孔盖板对所述缝隙另一端进行焊接,得到靶材包套; (2)对所述靶材包套进行400-500℃,6-9h的脱气,脱气后靶材包套内的真空度为1.0×10-3-1.0×10-2Pa,然后进行热等静压:所述靶材包套从20-30℃以5-10℃min升温至200-250℃,并保持1-3h,再以3-5℃min升温至400-550℃,并保持1-2h,过程中压力为100-180MPa,得到成型靶材,车削磨除所述成型靶材外部的盖板、带孔盖板和包套,得到铬铝旋转靶坯; (3)将不锈钢管外壁和铬铝旋转靶坯内壁用铟焊料充分浸润,然后将所述不锈钢管同轴放置于所述铬铝旋转靶坯内部并形成宽度为0.4-0.6mm缝隙,在所述缝隙内放入铜丝并注入铟焊料,达到190-210℃后保持12-24h,得到所述铬铝旋转管靶。
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