西北工业大学王学文获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种超薄聚酰亚胺薄膜厚度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115420205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211065917.0，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种超薄聚酰亚胺薄膜厚度测量方法是由王学文;董璇;赵若晴;许曼章;黄维设计研发完成，并于2022-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超薄聚酰亚胺薄膜厚度测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种聚酰亚胺薄膜的厚度测量方法，步骤一：聚酰亚胺前驱体溶液旋涂在SiO2Si基底上，一次加热实现薄膜半固化得到半固化薄膜基底；步骤二：对半固化薄膜基底进行裁切得到截断面，二次加热得到全固化薄膜，然后进行热酰亚胺化形成聚酰亚胺薄膜；步骤三：在扫描电子显微镜下观察截断面，测量薄膜厚度。根据本发明方法进行聚酰亚胺薄膜厚度测量时，不同于传统的薄膜测试方法，试样制备简单，测试方法便捷，数据呈现直观且精确。
本发明授权一种超薄聚酰亚胺薄膜厚度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种超薄聚酰亚胺薄膜厚度测量方法，其特征在于，包括： 步骤一：聚酰亚胺前驱体溶液旋涂在SiO2Si基底上，一次加热实现薄膜半固化得到半固化薄膜基底； 步骤二：对半固化薄膜基底进行裁切得到截断面，二次加热得到全固化薄膜，然后进行热酰亚胺化形成聚酰亚胺薄膜； 步骤三：在扫描电子显微镜下观察截断面，测量薄膜厚度； 所述的一次加热的温度低于100℃，持续时间不超过60s；所述的二次加热温度低于100℃，持续时间不少于60s； 所述的聚酰亚胺前驱体溶液由二胺和二酐单体在极性溶剂中经缩聚反应得到粘度为2000～30000cP的聚酰胺酸溶液； 所述旋涂的工艺参数为：第一阶段转速为500rpm，持续时间为10～30s；第二阶段转速为1000～9000rpm，持续时间为50～120s； 所述的热酰亚胺化形成聚酰亚胺薄膜为：大气条件下，升温速率为2～10℃，由室温升温至70℃处理1～4h，150℃处理2～4h，200℃处理1～4h，250℃处理1～24h，冷却至室温。
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