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龙图腾网获悉苏州普汇达电子科技有限公司申请的专利一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223881B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210803187.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置及其方法是由孔祥志;王晶;魏鸿磊;翁平设计研发完成，并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开的一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置及其方法，包括底座、晶圆校正模块、旋转升降台模块和机器视觉模块，所述晶圆校正模块安装于底座一端，所述旋转升降台模块的安装于底座另一端，所述机器视觉模块安装于底座侧壁，所述机器视觉模块与旋转升降台模块相邻设置。本发明属于芯片加工技术领域，具体是一种集机器视觉和机电一体的芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置。机器视觉即采用光学器件进行非接触式感知，具有高效率、高自动化的特点。采用机器视觉系统识别与定位晶圆，并进行缺陷检测，保证了晶圆在进入刻蚀工序时无明显缺陷，并能被机械手顺利传输到反应腔的正确位置的芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置。

本发明授权一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片刻蚀机晶圆缺陷检测及位置校正装置，其特征在于：包括底座、晶圆校正模块、旋转升降台模块和机器视觉模块，所述晶圆校正模块安装于底座一端，所述旋转升降台模块的安装于底座另一端，所述机器视觉模块安装于底座侧壁，所述机器视觉模块与旋转升降台模块相邻设置，所述晶圆校正模块包括校正底座、U型皮带轮、矫正步进电机、溜板、矫正真空发生器、导轨滑块、皮带卡具、飞梭、滑轨和皮带张紧轮，所述校正底座设于底座上，所述矫正步进电机设于校正底座上部一侧，所述皮带张紧轮设于校正底座上部远离矫正步进电机一侧，所述U型皮带轮设于矫正步进电机输出端，所述滑轨设于校正底座上，所述导轨滑块设于滑轨上，所述溜板滑动设于导轨滑块上，所述矫正真空发生器设于溜板上部一侧，所述飞梭设于溜板上部另一侧，所述矫正真空发生器与飞梭呈相对设置，所述皮带卡具设于溜板中间处； 所述旋转升降台模块包括下安装板、定位插销、上安装板、双柱双轴微型气缸、升降模块真空发生器、升降模块步进电机、联轴器、吸嘴安装座和吸嘴，所述下安装板设于底座一端，所述定位插销设于下安装板上部中间处，所述定位插销与下安装板嵌套焊接设置，所述双柱双轴微型气缸设于下安装板侧壁，所述上安装板设于双柱双轴微型气缸上部，所述升降模块真空发生器设于下安装板侧壁，所述升降模块步进电机设于下安装板远离定位插销一侧侧壁，所述联轴器设于升降模块步进电机输出端，所述吸嘴安装座设于联轴器上部，所述吸嘴设于吸嘴安装座上部，所述吸嘴安装座与升降模块真空发生器相连通； 所述机器视觉模块包括安装支架、工业相机和同轴光源，所述安装支架设于底座侧壁，所述工业相机设于安装支架上部，所述同轴光源设于安装支架侧壁，所述工业相机上装有镜头。

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