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龙图腾网获悉昂坤视觉(北京)科技有限公司申请的专利一种预检装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115144409B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210762373.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种预检装置及方法是由王林梓;苏永鹏;张立芳;刘浩南;周尧;马铁中设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种预检装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种预检装置及方法，该预检装置用于对晶圆进行预检和校正，晶圆包括基底片以及芯粒，预检装置包括：工作台；活动载台，且用于承载晶圆；第一相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取晶圆的第一检测图像；第二相机组件，用于对晶圆进行拍摄以获取芯粒的第二检测图像；分光元件，分光元件用于将第一检测图像的传输光路导向至第一相机组件，以及，分光元件用于将第二检测图像的传输光路导向至第二相机组件。通过本申请，第一相机组件不仅能够对晶圆进行预检，以减少后续检测模块中的工作量，同时还能辅助第二相机组件对晶圆进行位置校准，以使第二相机组件的校准效果更好，且校准效率更高效。

本发明授权一种预检装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种预检装置，用于对晶圆进行预检和校正，所述晶圆包括基底片以及阵列分布于所述基底片上的芯粒，其特征在于，所述预检装置包括： 工作台； 活动载台，设于所述工作台上，且用于承载所述晶圆； 第一相机组件，设于所述工作台上，且用于对所述晶圆进行拍摄以获取所述晶圆的第一检测图像，所述第一检测图像用于展示所述晶圆上各个所述芯粒的分布情况，所述第一相机组件包括第一相机以及连接于所述第一相机的大视场镜头，所述大视场镜头的视场范围能够覆盖所述晶圆的表面； 第二相机组件，设于所述工作台上，且用于对所述晶圆进行拍摄以获取所述芯粒的第二检测图像，所述第二检测图像用于展示所述芯粒的当前角度信息，所述第二相机组件包括第二相机以及连接于所述第二相机的准直镜头，所述准直镜头用于将发散的光变成准直的光，以使当对所述晶圆上的芯粒进行检测时，所述第二相机获取的第二检测图像能够反馈出所述芯粒的边缘线； 分光元件，设于所述工作台上，所述分光元件用于在所述第一相机组件拍摄时将所述第一检测图像的传输光路导向至所述第一相机组件，以及，所述分光元件用于在所述第二相机组件拍摄时将所述第二检测图像的传输光路导向至所述第二相机组件； 其中，所述活动载台能够根据所述第一检测图像展示的芯粒分布情况来带动所述晶圆移动，以使所述第二相机组件的视场范围内具有可用于参考校准的所述芯粒，以及，所述活动载台能够根据所述第二检测图像展示的芯粒当前角度信息来带动所述晶圆转动以校准所述晶圆。

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