浙江科技学院潘卫清获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江科技学院申请的专利基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114965482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210530290.5,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法及装置是由潘卫清;谭景升设计研发完成,并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法及装置,短相干光源产生的输出光束分为检测光束和参考光束,将参考光束分束为前表面参考光束和后表面参考光束,前表面参考光束和后表面参考光束分别经参考镜反射后原路返回;将检测光束发射至待测透明件并接收待测透明件的前表面反射光束和后表面反射光束,前表面反射光束和后表面反射光束分别与前表面参考光束和后表面参考光束发生干涉,利用CCD记录下干涉图像,经滤波处理分别获取前后表面缺陷像。本发明可以通过一次曝光记录待测透明件的前后表面缺陷成像,并可同步分离读取缺陷信息,具有使用方便高效的优点。
本发明授权基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法及装置在权利要求书中公布了:1.基于短相干光的透明件双表面缺陷成像方法,其特征在于:短相干光源产生的输出光束分为检测光束和参考光束,将参考光束分束为前表面参考光束和后表面参考光束,前表面参考光束和后表面参考光束分别经参考镜反射后原路返回;将检测光束发射至待测透明件并接收待测透明件的前表面反射光束和后表面反射光束,前表面反射光束和后表面反射光束分别与前表面参考光束和后表面参考光束发生干涉,利用CCD记录下干涉图像,经滤波处理分别获取前后表面缺陷像; 在偏振光路中,所述短相干光源产生的输出光束经起偏器起偏,再经过半波片后由第一偏振分光棱镜分为检测光束和参考光束;所述参考光束经第一四分之一波片后再经第二偏振分光棱镜分为前表面参考光束和后表面参考光束,前表面参考光束经第三四分之一波片后经前表面参考镜反射后原路返回,后表面参考光束经第四四分之一波片后经后表面参考镜反射后原路返回,返回的前表面参考光束和后表面参考光束于第二偏振分光棱镜合束;检测光束经第二四分之一波片和玻璃砖后照射于待测透明件上,待测透明件反射的前表面反射光束和后表面反射光束原路返回,并于第一偏振分光棱镜合束,通过调节各干涉光臂光程差,使前表面参考光和后表面参考光分别与待测玻璃的前表面和后表面反射光发生干涉,经成像镜头成像于CCD中得到干涉图像,再通过滤波分别提取出双表面的缺陷像; 在非偏振光路中,短相干光源产生的输出光束经第一分光棱镜分为检测光束和参考光束,其中,参考光束经第二分光棱镜分为前表面参考光束和后表面参考光束,前表面参考光束经第一衰减片后经前表面参考镜反射后原路返回,后表面参考光经第二衰减片后经后表面参考镜反射后原路返回,返回的前表面参考光束和后表面参考光束于第二分光棱镜合束;检测光束经第二四分之一波片和玻璃砖后照射于待测透明件上,待测透明件反射的前表面反射光束和后表面反射光束原路返回,并于第一分光棱镜合束,通过调节各干涉光臂光程差,使前表面参考光和后表面参考光分别与待测玻璃的前表面和后表面反射光发生干涉,经成像镜头成像于CCD中得到干涉图像,再通过滤波分别提取出双表面的缺陷像。
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