厦门大学廖洪钢获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利湿法腐蚀夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112951748B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110405272.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权湿法腐蚀夹具是由廖洪钢;邓俊先;江友红设计研发完成，并于2021-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿法腐蚀夹具在说明书摘要公布了：本发明属于微纳加工技术领域，具体涉及一种湿法腐蚀夹具，包括底座、顶盖和密封机构，底座上设有承载部，用于承载待腐蚀的晶圆，顶盖设在底座上方，密封机构用于防止腐蚀液接触朝承载部的晶圆正面，密封机构、顶盖和晶圆背面共同形成用于容纳腐蚀液的腔室，腔室内设有喷头，喷头的出液口位于承载部上方，用于喷出腐蚀液以腐蚀晶圆背面。功能全面，具有对晶圆背面进行全面腐蚀和局部腐蚀的功能。全面腐蚀：装载好待腐蚀的晶圆，向腔室内装入足量腐蚀液，对晶圆背面进行全面腐蚀；局部腐蚀：装载好待腐蚀的晶圆，通过喷头对晶圆背面特定区域喷洒腐蚀液，对晶圆背面局部进行微量腐蚀。
本发明授权湿法腐蚀夹具在权利要求书中公布了：1.一种湿法腐蚀夹具，其特征在于，包括底座、顶盖和密封机构，底座上设有承载部，用于承载待腐蚀的晶圆，所述顶盖上还设有搅拌器，搅拌器的搅拌头位于承载部上方；顶盖设在底座上方，密封机构用于防止腐蚀液接触朝承载部的晶圆正面，所述密封机构包括锁紧机构和设在承载部上方的密封圈，待腐蚀的晶圆放置在承载部与密封圈之间，密封圈的内径小于待腐蚀的晶圆的尺寸，在锁紧机构的锁紧下，顶盖紧压密封圈，密封机构、顶盖和晶圆背面共同形成用于容纳腐蚀液的腔室，腔室内设有喷头，喷头的出液口位于承载部上方，用于喷出腐蚀液以腐蚀晶圆背面，所述喷头的数量为多个，搅拌器的搅拌头设在顶盖中央，多个喷头围绕搅拌头，设置在搅拌头的周围。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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