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龙图腾网获悉中国船舶重工集团公司第七一八研究所申请的专利一种宽动态真空检漏装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110895179B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910769918.5，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权一种宽动态真空检漏装置是由严奉轩;王文锦;李芳;路晓川;龙希伟;赵巍仑;赵加鹏;孙喜堂;凌大鹏;陈宁;韩京设计研发完成，并于2019-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种宽动态真空检漏装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种宽动态真空检漏装置，属于真空检漏技术领域。本发明所述检漏装置采用QMS与阳极点火技术联动的方式，在高精度控制回路的配合下，能够实现102Pa到10‑9Pa动态范围的真空检漏，填补了目前市场宽动态范围真空检漏的技术空白；而且该检漏装置的示踪气体不限于氦气，具有广泛的应用前景。

本发明授权一种宽动态真空检漏装置在权利要求书中公布了：1.一种宽动态真空检漏装置，其特征在于：所述检漏装置包括真空规、示踪气体源、离子源进样单元、QMS单元、真空腔室以及高精度控制回路； 离子源进样单元包括电离室2、阳极3、灯丝7、磁铁1和离子束透镜电极5；电离室2上加工有进样口4和离子出口8，阳极3穿过电离室2并固定安装在电离室2的上端，灯丝7位于电离室2内部，磁铁1置于电离室2的外部，四个离子束透镜电极5按照上下顺序安装在电离室2下端的离子出口8； 高精度控制回路包括电源单元和数据处理单元； 真空规、示踪气体源以及电离室2的进样口4分别与被检真空件连接，电离室2的离子出口8与QMS单元的信息采集端连接，阳极3分别与电源单元和数据处理单元连接，QMS单元的信息输出端与数据处理单元连接，离子源进样单元和QMS单元放置在真空腔室内； 所述检漏装置根据真空规反馈的被检真空件的真空度，切换阳极点火模式检漏或QMS模式检漏； QMS模式检漏：根据真空规的检测结果判定被检真空件为中真空或高真空时，电源单元向阳极输出低电压，进入电离室的示踪气体分子被灯丝发射的能量电子所电离而产生离子，离子在磁铁磁场的准直作用下以及阳极的电场推斥作用下向离子束透镜电极方向运动，并通过电离室的离子出口进入QMS单元进行分析，数据处理单元采集QMS单元输出的电流，由于示踪气体浓度与QMS质谱峰强度成正比关系，所以根据电流大小可以计算出被检真空件的漏率； 阳极点火模式检漏：根据真空规的检测结果判定被检真空件为超高真空时，电源单元向阳极输出高电压，示踪气体进入电离室后，阳极上施加的高电压能够少量诱导粒子激发少量电子，该电子受磁铁磁场的洛伦磁力而作螺旋运动，并引发更多示踪气体被电离，放出更多电子，最终被阳极捕捉而产生电流，数据处理单元采集阳极产生的电流，由于电流与示踪气体浓度成正比，可以根据电流大小计算出被测真空件的漏率； 针对示踪气体的特定质荷比，利用示踪气体在高真空、中真空环境下产生的电流，作为真空漏率的定量指标； 在电离室2的内表面制备一层氧化钛涂层； 灯丝7和离子束透镜电极5的材料选用α+β钛合金。

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