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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利晶圆自动装载装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120184073B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510673269.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆自动装载装置及其控制方法是由胡俊林;连惠团;孙会民;郑隆结设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆自动装载装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆自动装载装置及其控制方法，属于晶圆装载设备技术领域，用于解决如何降低因工作人员误操作导致破片的风险的问题。晶圆自动装载装置包括：机台框架、载台模组、挡板模组和开盖检测模组。载台模组设置于机台框架，用于固定晶圆盒，并通过直线驱动机构驱动晶圆盒在沿晶圆盒的盖子打开方向线性排布的开盖工位与检测工位之间移动；挡板模组包括围绕载台模组设置的左挡板组件、右挡板组件和升降挡板组件，升降挡板组件可升降移动地设置于左挡板组件和右挡板组件之间，并通过挡板驱动机构驱动升降移动；开盖检测模组包括升降机构、开盖组件和用于检测晶圆盒内部晶圆的检测组件。

本发明授权晶圆自动装载装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动装载装置，其特征在于，包括： 机台框架； 载台模组，所述载台模组设置于所述机台框架，用于固定晶圆盒，并设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动所述晶圆盒在开盖工位与检测工位之间移动，所述检测工位和开盖工位沿所述晶圆盒的盖子打开方向线性排布； 挡板模组，所述挡板模组包括围绕所述载台模组设置的左挡板组件、右挡板组件和升降挡板组件，所述左挡板组件和右挡板组件设置于所述机台框架，所述升降挡板组件可升降移动地设置于所述左挡板组件和右挡板组件之间，并设置有挡板驱动机构，所述挡板驱动机构设置于所述左挡板组件或右挡板组件，并用于驱动所述升降挡板组件升降移动，其中，所述左挡板组件、右挡板组件、升降挡板组件和机台框架在所述载台模组的外围形成方形空间； 开盖检测模组，包括升降机构、开盖组件和检测组件，所述升降机构设置于所述机台框架，并与所述开盖组件连接，所述开盖组件用于固定并解锁位于所述开盖工位的所述晶圆盒的盖子，所述检测组件设置于所述开盖组件，用于检测位于所述检测工位的所述晶圆盒的内部的晶圆， 其中，所述左挡板组件和右挡板组件固定设置于所述机台框架位置相对的两个侧面，并各设有一个滑槽；所述升降挡板组件包括至少三个可滑动地设置于所述滑槽内的挡板，所述挡板之间由上至下依次排列，并沿一水平方向依次层叠设置，相邻所述挡板之间分别设置竖向延伸的滑道及与所述滑道可滑动地配合的滑块； 其中，所述挡板驱动机构与最上端的所述挡板连接；在相邻两个所述挡板中，位于上方的所述挡板在向上移动时，通过所述滑块带动位于下方的所述挡板向上移动； 其中，所述直线驱动机构驱动所述晶圆盒从开盖工位后退到检测工位，使晶圆盒和盖子分离，并使所述开盖组件和检测组件的升降移动不受晶圆盒干涉。

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