长春长光智欧科技有限公司谢晓麟获国家专利权
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龙图腾网获悉长春长光智欧科技有限公司申请的专利一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510472071.X,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块及方法是由谢晓麟;宋振强;王超;张雨田;王赫;孟德润;徐佳楠;李典策;张汉清;李昊设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块及方法,涉及半导体检测技术领域,相机模块包括总体框架、光源、CCD相机、第一线涨单元、第二线涨单元、第三线涨单元、第一俯仰维、第一球体、第二球体和第三球体,探针相机模块通过第一线涨单元的线涨端和第二线涨单元的线涨端在温度变化的同时发生尺寸增大,使第一球体进入到第一俯仰角度调整口内,第三球体进入到第二俯仰角度调整口内,改变第一俯仰维的俯仰角度,补偿光轴偏移量,即使不同机台下存在工况差异,也能保证相机模块光轴物面在三维空间的位置坐标变化量降低至3左右,完成高精度测量,解决了现有探针相机在极端温度条件下,物面的三维空间位置变化较大的问题。
本发明授权一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块及方法在权利要求书中公布了:1.一种非常温环境补偿系统光轴偏移的探针相机模块,包括:总体框架(1)、光源(3)和CCD相机(4),其特征在于,所述光源(3)和CCD相机(4)均设置在总体框架(1)上,总体框架(1)内还设置有镜筒和第一线涨俯仰台(6),第一线涨俯仰台(6)设置在镜筒的下方,第一线涨俯仰台(6)包括主框架(33)、第一线涨单元、第二线涨单元、第三线涨单元和第一俯仰维(28),第一俯仰维(28)上开设有第一俯仰角度调整口和第二俯仰角度调整口,第一线涨单元的线涨端设置在主框架(33)上,第一线涨单元的另一端设置有第一球体,第一球体滑动设置在第一俯仰角度调整口上,第一球体的直径大于第一俯仰角度调整口的高度,第二线涨单元的线涨端设置在主框架(33)上,第二线涨单元的另一端设置有第二球体,第二球体与第三线涨单元的一端滑动连接,第三线涨单元的另一端设置有第三球体,第三球体滑动设置在第二俯仰角度调整口上,第三球体的直径大于第二俯仰角度调整口的高度,第一线涨单元上设置有第一弹簧(26),第二线涨单元上设置有第二弹簧(30),第三线涨单元上设置有第三弹簧(32),第一俯仰维(28)上设置有反射镜(11)。
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