浙江晟霖益嘉科技有限公司廖承丰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种空间型原子层沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119956330B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510449799.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种空间型原子层沉积设备是由廖承丰;魏宇杰;吴宾宾;刘伟;徐钧设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种空间型原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种空间型原子层沉积设备，所述空间型原子层沉积设备包括：反应腔室，所述反应腔室包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有载盘入口（10a），所述第二侧壁上设置有载盘出口（10b），承载有基片的载盘能够穿过所述载盘入口进入所述反应腔室内部，并且能够穿过所述载盘出口，并离开所述反应腔室；喷淋模块（3），所述喷淋模块包括出气面，所述出气面上形成有多个出气孔，所述喷淋模块设置在所述反应腔室的底部，所述出气面朝向所述反应腔室的顶部；载盘传输装置，所述载盘传输装置用于带动载盘（4）在所述反应腔室内平移，以使得所述基片的待沉积表面与所述出气面相对。
本发明授权一种空间型原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种空间型原子层沉积设备，其特征在于，所述空间型原子层沉积设备包括： 反应腔室，所述反应腔室包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有载盘入口（10a），所述第二侧壁上设置有载盘出口（10b），承载有基片的载盘能够穿过所述载盘入口进入所述反应腔室内部，并且能够穿过所述载盘出口，并离开所述反应腔室； 喷淋模块（3），所述喷淋模块包括出气面，所述出气面上形成有多个出气孔，所述喷淋模块设置在所述反应腔室的底部，所述出气面朝向所述反应腔室的顶部； 载盘传输装置，所述载盘传输装置用于带动载盘（4）在所述反应腔室内平移，以使得所述基片的待沉积表面与所述出气面相对。
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