无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司段一宇获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种半导体设备的液体流量校验方法、装置和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119958674B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510443607.5，技术领域涉及：G01F1/34；该发明授权一种半导体设备的液体流量校验方法、装置和电子设备是由段一宇;张心强;耿超;肖成亮;马留强;刘丹设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备的液体流量校验方法、装置和电子设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体设备的液体流量校验方法、装置和电子设备，液体流量校验方法包括：获取载气流量等于预设载气流量时，并保持第一预设时长后，与载气流量对应的真空腔室载气压力变化值；多次获取载气流量等于预设载气流量，且液体流量等于预设液体流量时，并保持第一预设时长后，与混合气流量对应的真空腔室混合气压力变化值；根据真空腔室载气压力变化值和每一真空腔室混合气压力变化值，确定与每一液体流量对应的真空腔室压力变化值；根据每一液体流量和与液体流量对应的每一真空腔室压力变化值对半导体设备的液体流量进行校验。本发明提高了液体流量控制器输出的液体流量的校验精度。
本发明授权一种半导体设备的液体流量校验方法、装置和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的液体流量校验方法，其特征在于，包括： 获取载气流量等于预设载气流量时，并保持第一预设时长后，与所述载气流量对应的真空腔室载气压力变化值；其中，所述载气流量为通过质量流量控制器输出的流量； 多次获取载气流量等于预设载气流量，且液体流量等于预设液体流量时，并保持第一预设时长后，与混合气流量对应的真空腔室混合气压力变化值；其中，混合气流量为载气与汽化液体的混合气体流量；所述液体流量为通过液体流量控制器输出的流量； 根据所述真空腔室载气压力变化值和每一所述真空腔室混合气压力变化值，确定与每一所述液体流量对应的真空腔室压力变化值； 根据每一所述液体流量和与所述液体流量对应的每一真空腔室压力变化值对半导体设备的液体流量进行校验。
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