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上海中科飞测半导体科技有限公司张鹏斌获国家专利权

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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利一种明暗场检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119901684B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510399985.8,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种明暗场检测装置及方法是由张鹏斌;刘健鹏;梁文军;王福旺;仇志远;陈鲁设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种明暗场检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测技术领域,尤其涉及一种明暗场检测装置及方法,其中明场光源发出的第一照明光经照明调制组件调制后,与暗场光源发出的第二照明光分别被引导照射待测样品的表面,第一照明光经待测样品反射形成明场信号光,第二照明光经待测样品散射形成暗场信号光,明场信号光和暗场信号光沿共同光路传输且空间上相互分离;与照明调制组件适配的物镜接收并显微放大明场信号光和暗场信号光;成像组件接收明场信号光和暗场信号光接收,并进行明场成像和暗场成像。本发明通过明暗场共光路分视场设计,实现明暗场同时成像检测;此外通过设置照明调制组件抑制照明光线在物镜出瞳面外围发生的反射现象,消除杂散光对成像的干扰。

本发明授权一种明暗场检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种明暗场检测装置,其特征在于,包括: 明场光源,发出第一照明光; 照明调制组件,调制所述第一照明光;所述照明调制组件包括空间滤波组、前中继镜组以及后中继镜组; 暗场光源,发出第二照明光; 所述第一照明光以及所述第二照明光分别被引导照射待测样品的表面,所述第一照明光经所述待测样品反射形成明场信号光,所述第二照明光经所述待测样品散射形成暗场信号光;所述明场信号光和所述暗场信号光沿共同光路传输且空间上相互分离; 物镜,接收所述明场信号光和所述暗场信号光并分别显微成像;所述照明调制组件适配于所述物镜的出瞳直径,且能够抑制所述第一照明光在所述物镜的出瞳面外围发生的反射现象;在所述照明调制组件和所述物镜之间还设有照明镜组,所述照明调制组件发出的所述第一照明光依次经所述照明镜组和所述物镜后照射到所述待测样品的表面;所述空间滤波组的出光孔径、所述物镜的出瞳直径、所述照明镜组的焦距以及所述前中继镜组或所述后中继镜组的焦距满足如下关系: D瞳D滤波=F照明F中继; 其中,D瞳表示所述物镜的出瞳直径,D滤波表示所述空间滤波组的出光孔径,F照明表示所述照明镜组的焦距,F中继表示所述前中继镜组或所述后中继镜组的焦距; 成像组件,接收所述物镜出射的所述明场信号光和所述暗场信号光,并进行明场成像和暗场成像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海中科飞测半导体科技有限公司,其通讯地址为:201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区玉宇路1068号、飞渡路1568号、天高路1111号6幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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