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龙图腾网获悉星奇(上海)半导体有限公司申请的专利一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119830611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510307614.2，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法是由张利;陈新设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法，应用于半导体制造技术领域，通过应用质量守恒定律和理想气体状态方程，构建了一个描述腔室内压力随时间变化的数学模型，不仅能够精确预测腔室内的压力变化，而且能够通过参数辨识过程，实时确定关键的系统参数，显著提高了压力控制的精度和响应速度，同时增强了系统的适应性和稳定性，有助于优化薄膜沉积过程，提升产品的质量和均匀性，提高生产效率。

本发明授权一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法在权利要求书中公布了：1.一种真空压力系统的参数辨识方法，其特征在于，包括： 利用真空压力系统参数辨识的建模方法建立腔室内压力与时间的关系模型； 采集一段时间内腔室内压力随时间变化的数据，所述数据包括：每个时刻的压力值和对应的时间戳； 通过优化算法对采集到的所述数据进行拟合，辨识出所述关系模型中的腔室体积和腔室进气端流量参数； 使用辨识出的所述腔室体积和腔室进气端流量参数来控制蝶阀的阀板开度，以实现对腔内压力的精确控制； 其中：所述真空压力系统参数辨识的建模方法，包括： 对腔室内的压力变化进行建模，所述真空压力系统参数辨识的建模方法包括： 根据质量守恒定律，建立腔室内任意时刻的气体物质的量平衡方程，表达式为： ，其中，表示进气端进入的总气体的量，表示出气端排出的总气体的量； 根据进气流量恒定和出气量与腔室压力和蝶阀流导的关系，建立腔室内气体物质的量随时间变化的关系模型：； 利用理想气体状态方程：，得到腔室内压力与时间的关系模型，表达式为：； 其中，表示腔室内任意时刻的压力；为微分方程通解中的常数；为自然对数的底数；，为摩尔气体常数，为温度，为腔室气体体积；表示蝶阀当前流导；表示时间；表示进气端的进气质量流量。

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