江苏光启灵犀装备有限公司林智威获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏光启灵犀装备有限公司申请的专利用于碱溶性光刻胶高选择性的显影液及显影工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119805885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510104847.2，技术领域涉及：G03F7/32；该发明授权用于碱溶性光刻胶高选择性的显影液及显影工艺是由林智威;张漫江;郑怡倩设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于碱溶性光刻胶高选择性的显影液及显影工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及显影技术领域，具体为用于碱溶性光刻胶高选择性的显影液及显影工艺。本发明克服了显影过程中存在的显影效果以及溶解效果不佳的问题。本发明中显影液的合成原料包括改性活性剂、弱碱性混合物、改性消泡剂、复合分散剂、改良螯合剂、有机溶剂以及去离子水。本发明通过制备改性活性剂和弱碱性混合物来提高未曝光光刻胶的溶解率，体现显影液的高选择性；通过制备改性消泡剂以及加入复合分散剂来提高显影液的消泡性能；显影液中的改良螯合剂与有机溶剂协同作用能够提高材料的显影效果；将显影液应用到显影工艺中，调整酸碱度和工艺参数，从而提高材料的显影效果和效率。
本发明授权用于碱溶性光刻胶高选择性的显影液及显影工艺在权利要求书中公布了：1.用于碱溶性光刻胶的显影液，其特征在于：以质量百分比计，所述显影液的合成原料包括以下组分： 改性活性剂：8%-12%； 弱碱性混合物：5%-7%； 改性消泡剂：3%-5%； 复合分散剂：1%-3%； 改性螯合剂：1%-3%； 有机溶剂：9%-15%； 去离子水：余量；总质量百分比为100%； 所述改性活性剂是由十二烷基苯磺酸钠、硫酸亚铁和过氧化氢制备得到的；所述改性消泡剂是由聚二甲基硅氧烷、脂肪醇聚氧乙烯醚和过氧化苯甲酰制备得到的；所述复合分散剂包括聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸钠和十六烷基三甲基溴化铵；所述改性螯合剂是由乙二胺四乙酸二钠、二乙烯三胺五乙酸和二乙烯三胺制备得到的。
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