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苏州联讯仪器股份有限公司林冠屹获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119537121B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510096617.6,技术领域涉及:G06F11/22;该发明授权一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备是由林冠屹设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备,包括:确定晶圆上划分的多组测试组中的任意一组为预设测试组,确定预设测试组上标定位置的第一坐标以及预设测试组内测试结构标定位置的第二坐标;确定预设测试组与晶圆的第一位置关系,并根据测试组的尺寸和第一位置关系在晶圆上对各测试组进行排布;根据第二坐标和第一坐标,确定测试结构与所在测试组的第二位置关系,根据第二位置关系对各测试组中的测试结构进行排布;根据第一坐标、芯片的尺寸以及测试组的尺寸,对各测试组内的芯片进行排布,生成第一晶圆图。不受测试组内芯片数量的影响,极大的提高了生成晶圆图的效率。

本发明授权一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备在权利要求书中公布了:1.一种生成晶圆图的方法,其特征在于,包括: 提供一晶圆,所述晶圆上包括多组测试组,其中,每个所述测试组包括排布方式相同的测试结构和芯片; 确定所述晶圆上划分的多组测试组中的任意一组为预设测试组,确定所述预设测试组上标定位置的第一坐标以及所述预设测试组内测试结构标定位置的第二坐标;其中,所述预设测试组上标定位置包括:测试组之间的划片街区及其相邻的测试结构所形成的相交区域的中心位置;所述预设测试组内测试结构的标定位置包括:测试结构内焊盘的位置; 使测试组位于观测设备的视野范围内,根据位于各测试组内同一位置的第一匹配标识的位置,确定测试组的尺寸; 使芯片位于所述观测设备的视野范围内,根据位于各芯片内同一位置的第二匹配标识的位置,确定芯片的尺寸; 使所述晶圆的边缘位于所述观测设备的视野范围内,根据所述晶圆边缘的圆弧上的至少三个点的位置坐标,确定所述晶圆圆心点的第三坐标; 根据所述第三坐标和所述第一坐标,确定所述预设测试组与所述晶圆的第一位置关系,并根据测试组的尺寸和所述第一位置关系在所述晶圆上对各测试组进行排布; 根据所述第二坐标和所述第一坐标,确定测试结构与所在测试组的第二位置关系,根据所述第二位置关系对各测试组中的测试结构进行排布; 根据所述第一坐标、芯片的尺寸以及测试组的尺寸,对各测试组内的芯片进行排布,生成第一晶圆图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州联讯仪器股份有限公司,其通讯地址为:215011 江苏省苏州市高新区湘江路1508号5幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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