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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司申请的专利用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119476057B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510058638.9，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统是由肖燕青;肖迪;戴磊;贾松松;许宗成设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶片清洗分析技术领域，尤其涉及用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统，本发明通过获取金属残留数据对蓝宝石衬底晶片的金属残留清洗效果进行分析；同时获取污渍残留数据对蓝宝石衬底晶片的污渍残留清洗效果进行分析；根据金属残留清洗效果分析结果和污渍残留清洗效果分析结果，对蓝宝石衬底晶片的清洗效果进行评估；根据其评估结果和预设清洗参数数据，构建蓝宝石衬底晶片清洗效果预测模型，预测待清洗蓝宝石衬底晶片的清洗效果；根据其预测结果，对蓝宝石衬底晶片的预设清洗参数进行重新设置。本发明能够充分反映蓝宝石衬底晶片的整体清洗效果，对现有的清洗效果评估方法进行优化，进而提高最终器件的性能和可靠性。

本发明授权用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统在权利要求书中公布了：1.用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法，其特征在于，包括下述步骤： S1、获取历史上多个蓝宝石衬底晶片的金属残留数据和污渍残留数据，同时获取历史上多个蓝宝石衬底晶片的预设清洗参数数据； S2、将金属残留数据导入金属残留清洗效果分析模型中，对蓝宝石衬底晶片的金属残留清洗效果进行分析；同时将污渍残留数据导入污渍残留清洗效果分析模型中，对蓝宝石衬底晶片的污渍残留清洗效果进行分析； S3、根据金属残留清洗效果分析结果和污渍残留清洗效果分析结果，对蓝宝石衬底晶片的清洗效果进行评估； S4、根据蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估结果和预设清洗参数数据，构建蓝宝石衬底晶片清洗效果预测模型，用于预测待清洗蓝宝石衬底晶片的清洗效果； S5、根据待清洗蓝宝石衬底晶片的清洗效果预测结果，对蓝宝石衬底晶片的预设清洗参数进行重新设置； 所述步骤S2包括以下具体步骤： S21、提取蓝宝石衬底晶片的金属残留数据；其中，所述金属残留数据包括清洗前金属残留数据和清洗后金属残留数据； S22、将蓝宝石衬底晶片的清洗前金属残留数据和清洗后金属残留数据导入金属残留清洗效果系数计算公式中计算蓝宝石衬底晶片的金属残留清洗效果系数；所述金属残留清洗效果系数计算公式为： ； 式中，JS表示蓝宝石衬底晶片的金属残留清洗效果系数，G为清洗后金属残留数据中清洗后的蓝宝石衬底晶片的质量；S表示蓝宝石衬底晶片的表面积；Ai表示清洗前金属残留数据中通过X射线荧光光谱分析得到的第i种残留金属元素清洗前的浓度；Bi表示清洗后金属残留数据中通过X射线荧光光谱分析得到的第i种残留金属元素清洗后的浓度；n表示通过X射线荧光光谱分析得到的残留金属元素的数量，i为1至n中任一项。

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