昆山裕磊机械设备有限公司赵磊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉昆山裕磊机械设备有限公司申请的专利一种用于晶圆加工的晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812038B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411847272.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于晶圆加工的晶圆清洗机是由赵磊设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆加工的晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括清洗箱，清洗箱内设有清洗组件，清洗箱的顶面安装有顶架，顶架上安装有双振发生模组，双振发生模组上传动连接有可同步前后位移及上下往复位移的双振架及可旋动的清洗轴，双振架与顶架之间安装有一组双向弹性复位件，清洗轴转动安装于双振架上，双振架上转动安装有可旋动的齿套。本发明通过双振架的双振结构设置及摇架的往复旋动结构设置，能够实现晶圆清洗时的多向运动，通过多向运动，从而实现清洗液对晶圆的多向冲刷，继而提高晶圆的清洗效果，且本装置在清洗时还能实现晶圆本体清洗时的自旋动，从而通过离心力提高晶圆本体的甩污强度。
本发明授权一种用于晶圆加工的晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括清洗箱（1），所述清洗箱（1）内设有清洗组件，其特征在于：所述清洗箱（1）的顶面安装有顶架（2），所述顶架（2）上安装有双振发生模组，所述双振发生模组上传动连接有可同步前后位移及上下往复位移的双振架（3）及可旋动的清洗轴（4），所述双振架（3）与顶架（2）之间安装有一组双向弹性复位件，所述清洗轴（4）转动安装于双振架（3）上，所述双振架（3）上转动安装有可旋动的齿套（5），所述齿套（5）内转动安装有可往复摇动的摇轴（6），所述摇轴（6）上安装有通过清洗轴（4）驱动的往复摇动模块，所述摇轴（6）的尾端安装有摇架（7），所述摇架（7）上转动安装有两个对称设置的驱动轴（8），所述齿套（5）上传动连接有同步带，两个所述驱动轴（8）均与同步带传动连接，所述摇架（7）上卡接有晶圆储篮（9），所述晶圆储篮（9）上安装有与驱动轴（8）联动的晶圆旋动发生模块，所述晶圆储篮（9）上载有晶圆本体（10）。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山裕磊机械设备有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇垌坵路181号6号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号