天津大学罗浩获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种校正F-P传感器中非线性误差系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119642714B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411829503.X,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种校正F-P传感器中非线性误差系统和方法是由罗浩;于晋龙;王菊;马闯设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种校正F-P传感器中非线性误差系统和方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种校正F‑P传感器中非线性误差系统和方法,对F‑P传感器的输出信号进行非线性校正,包括相位补偿和角度补偿,以提高F‑P传感器的测量精度,可以灵活调整和优化,以适应不同的测量环境和需求。
本发明授权一种校正F-P传感器中非线性误差系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种校正F-P传感器中非线性误差方法,其特征在于,包括: 根据激光干涉仪与F-P传感器采集到的平面反射镜移动的相位值,得到平面反射镜移动的微位移值; 对F-P传感器输出的相位曲线的纵坐标从0到360°做等步进值分割,步进值为0.01°,将分割后的纵坐标记为0.01°×n,n=0,1,2,3,···,36000,建立相位滑窗序列,记为A; 将相位滑窗序列A作为已知参量,通过求解函数值法找到激光干涉仪相位曲线中对应的时间点t1,t2,t3,···ti,得到时间滑窗序列,记为B; 将时间滑窗序列B作为已知参量,通过求解函数值法找到F-P传感器输出相位曲线上的相应纵坐标值,分别记为φ1,φ2,φ3,···φj; 将j组纵坐标相位值取平均,作为F-P传感器的相位实验值,对应激光干涉仪测得的相位变化为0.01°×n,将两组数据做差得到相位误差值,此值将作为相位非线性误差补偿时的预补偿值; 将相位预补偿值通过插值迭代补偿F-P传感器输出的相位曲线; 将补偿后的两条相位曲线做差,得到F-P传感器与激光干涉仪的相位误差曲线; 对测量结果进行角度非线性误差补偿,将激光干涉仪测得的数据作为横坐标,F-P传感器测得的数据作为纵坐标,得到位移曲线图; 将位移曲线做线性拟合,得到斜率k,通过斜率k获得角度误差的夹角θ; 将角度误差的夹角代入相位误差曲线中,得到相位和角度两种非线性误差补偿后的误差曲线。
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