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龙图腾网获悉北京深谋科技有限公司申请的专利一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119509503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411657349.2，技术领域涉及：G01C19/5698；该发明授权一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构是由朱二辉设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构在说明书摘要公布了：本发明提出了一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构，涉及半导体传感器芯片技术领域，包括压电基底和设置于压电基底表面的声表面波谐振器和声表面波检测器，声表面波谐振器包括两个相对设置的驱动叉指换能器，在两个驱动叉指换能器之间设置有波能量调制区，在每个驱动叉指换能器的外侧均设置有第一声表面波反射栅，声表面波谐振器用于通过驱动叉指换能器在压电基底产生一次声表面波，并在第一声表面波反射栅产生与一次声表面波反射栅对应的驻波；声表面波检测器包括两个对称设置在波能量调制区两侧的石墨烯压阻条，在每个石墨烯压阻条的外侧均设置有第二声表面波反射栅。本发明有助于提升声表面波陀螺仪芯片的灵敏度和信噪比。

本发明授权一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构在权利要求书中公布了：1.一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构，其特征在于，包括压电基底1和设置于所述压电基底1表面的声表面波谐振器2和声表面波检测器3，其中， 所述声表面波谐振器2包括两个相对设置的驱动叉指换能器21，在两个所述驱动叉指换能器21之间设置有波能量调制区4，在每个驱动叉指换能器21的外侧均设置有第一声表面波反射栅22，所述声表面波谐振器2用于通过所述驱动叉指换能器21在所述压电基底1产生一次声表面波，并在所述第一声表面波反射栅22产生与所述一次声表面波反射栅对应的驻波； 所述驱动叉指换能器21包括第一汇流条、第二汇流条、多个第一插指电极以及多个第二插指电极，所述第一插指电极与所述第二插指电极呈等间距交错排列，多个第一插指电极是一端与所述第一汇流条相连接，多个第一插指电极的另一端与所述第二汇流条间隔设置，多个第二插指电极是一端与所述第二汇流条相连接，多个第二插指电极的另一端与所述第一汇流条间隔设置，所述第一插指电极和所述第二插指电极均呈弧形设置，且所述第一插指电极和所述第二插指电极弧度相同； 所述第一声表面波反射栅22包括多个等间距排列的第一反射栅，所述第一反射栅均呈弧形且弧度相同； 所述声表面波检测器3包括两个对称设置在所述波能量调制区4两侧的石墨烯压阻条31，在每个石墨烯压阻条31的外侧均设置有第二声表面波反射栅32，所述声表面波检测器3用于驻波形成二次声表面波后在所述石墨烯压阻条31处生成有效声电流； 所述波能量调制区4内设置有金属点阵41，所述金属点阵41包括多列金属点组，每行金属点组包括多个间隔分布的矩形金属点； 任意两个相邻的金属点组分别设置于所述波能量调制区4的驻波节点位置和驻波反节点位置，且所述驻波节点位置与所述驻波反节点位置交替分布。

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