江苏丰泓半导体科技有限公司郑石磊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏丰泓半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆加工处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118943062B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411439211.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆加工处理装置是由郑石磊;郑振军设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开的一种晶圆加工处理装置，属于晶圆加工技术领域，包括用于对晶圆进行腐蚀的腐蚀箱、用于清洁的清洁箱以及对清洁后的晶圆进行干燥的干燥组件和固定组件，所述固定组件分别活动设于腐蚀箱、清洁箱以及干燥组件内，所述清洁箱和干燥组件内均安装有连接组件，所述干燥组件外侧壁和清洁箱外侧壁连接有安装板，所述安装板上安装有驱动组件，所述驱动组件设于清洁箱和干燥组件之间，所述驱动组件的输出端与腐蚀箱相连，所述驱动组件上安装有驱动杆，所述驱动杆的两端分别与清洁箱内的连接组件和干燥组件内的连接组件相连。能够对晶圆进行均匀腐蚀，在腐蚀的同时还能对晶圆进行高效的清洁和快速的烘干处理。
本发明授权一种晶圆加工处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工处理装置，包括用于对晶圆进行腐蚀的腐蚀箱、用于清洁的清洁箱以及对清洁后的晶圆进行干燥的干燥组件和固定组件，所述固定组件分别活动设于腐蚀箱、清洁箱以及干燥组件内，其特征在于，所述清洁箱和干燥组件内均安装有连接组件，所述干燥组件外侧壁和清洁箱外侧壁连接有安装板，所述安装板上安装有驱动组件，所述驱动组件设于清洁箱和干燥组件之间，所述驱动组件的输出端与腐蚀箱相连，所述驱动组件上安装有驱动杆，所述驱动杆的两端分别与清洁箱内的连接组件和干燥组件内的连接组件相连； 所述驱动组件包括支撑板，所述支撑板上设有支撑环，所述支撑环上活动安装有驱动轴，所述驱动轴的另一端活动贯穿腐蚀箱侧壁设置； 所述腐蚀箱侧壁活动安装有驱动轮，所述驱动轴的另一端与驱动轮相连； 所述固定组件包括连接轮一，所述连接轮一设于驱动轮上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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