江苏大摩半导体科技有限公司王建安获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏大摩半导体科技有限公司申请的专利一种多合一晶圆平整度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223106916U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422423803.X，技术领域涉及：G01B11/30；该实用新型一种多合一晶圆平整度检测装置是由王建安;王栋设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多合一晶圆平整度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多合一晶圆平整度检测装置，涉及晶圆检测技术领域；包括L型支架，L型支架的一侧固定安装有若干个连接架，连接架的内腔滑动连接有活塞杆，活塞杆的底端固定安装有安装架，安装架的底端转动连接有滚轴，连接架的顶端固定安装有连接管，L型支架的顶端固定安装有若干个透明仓，连接管的另一侧与透明仓相连接，透明仓的内部填充有泡沫；通过滚轴在晶圆表面移动，遇到凸起时活塞杆朝向连接架内腔滑动，将气体通过连接管吹入至透明仓内部，泡沫在风力的作用下产生漂浮从而可以直观的观测出晶圆表面是否平整，加快了对晶圆表面的检测效率。
本实用新型一种多合一晶圆平整度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种多合一晶圆平整度检测装置，包括工作台（1）和安装在工作台（1）顶端中心位置处的载台（19），其特征在于：所述工作台（1）顶端两侧的中心位置处固定安装有导轨（2），所述导轨（2）的内部滑动连接有滑轨（3），所述滑轨（3）的顶端固定安装有立杆（4），两个所述立杆（4）之间固定安装有L型支架（5），所述L型支架（5）的一侧固定安装有若干个连接架（6），所述连接架（6）的内腔滑动连接有活塞杆（7），所述活塞杆（7）的底端固定安装有安装架（8），所述安装架（8）的底端转动连接有滚轴（9）；所述连接架（6）的顶端固定安装有连接管（10），所述L型支架（5）的顶端固定安装有若干个透明仓（11），所述连接管（10）的另一侧与透明仓（11）相连接，所述透明仓（11）的内部填充有泡沫。
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