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龙图腾网获悉苏州尤诺克机电科技有限公司申请的专利晶圆生产装置载具及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119275141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411371491.0，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶圆生产装置载具及其工作方法是由周士哲;周强设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆生产装置载具及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体器件技术领域，尤其涉及晶圆生产装置载具及其工作方法。一种晶圆生产装置载具，包括：若干对支撑片，位于盒本体两侧内壁，且形成若干层晶圆放置位，所述支撑片与盒本体的内壁之间为上下滑动设置；若干调节限位组件，分别对应相应晶圆放置位，且包括：晶圆插接件，位于该晶圆插接件两侧的支撑片用联动机构；其中，晶圆插入或拔出晶圆放置位，以使晶圆插接件向后或向前移动，触发联动机构带动该晶圆放置位处上方的支撑片调整层间隙，以避免取放晶圆时相邻的晶圆被污染；通过调节限位组件的设置，晶圆在放入盒本体的过程中，能够拉动晶圆向盒本体内移动，而取出晶圆时，能够推动支撑片向上移动，避免了相邻的晶圆被污染。

本发明授权晶圆生产装置载具及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产装置载具，其特征在于，包括： 盒本体（1）； 若干对支撑片（2），位于盒本体（1）两侧内壁，且形成若干层晶圆放置位，所述支撑片（2）与盒本体（1）的内壁之间为上下滑动设置； 若干调节限位组件（3），分别对应相应晶圆放置位，且包括：晶圆插接件（32），位于该晶圆插接件（32）两侧的支撑片（2）用联动机构（33）； 其中，晶圆插入或拔出晶圆放置位，以使晶圆插接件（32）向后或向前移动，触发联动机构（33）带动该晶圆放置位处上方的支撑片（2）调整层间隙，以避免取放晶圆相邻的晶圆被污染； 所述调节限位组件（3）包括：定位板（31），其水平设置在盒本体（1）内，且垂直固定在盒本体（1）的内板（10）侧壁； 所述晶圆插接件（32）滑动设置在所述定位板（31）上； 两所述联动机构（33）分别滑动设置在所述定位板（31）的两侧，且所述联动机构（33）与所述晶圆插接件（32）联动； 其中，晶圆插接件（32）向远离内板（10）的方向移动时，适于推动两联动机构（33）相离移动。

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