湖北星辰技术有限公司张童获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利晶圆载台清洁装置及光刻机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400019.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型晶圆载台清洁装置及光刻机台是由张童;冯泳强;刘洋;杨鑫鑫设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载台清洁装置及光刻机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆载台清洁装置及光刻机台，该晶圆载台清洁装置包括：清洁头，位于晶圆载台的承载面上方并相对于承载面移动；清洁头包括：气体输出单元，用于输出气体以使污染物脱离承载面；负压产生单元，用于产生负压以吸入污染物。
本实用新型晶圆载台清洁装置及光刻机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台清洁装置，其特征在于，包括： 清洁头，位于晶圆载台的承载面上方并相对于所述承载面移动； 所述清洁头包括： 气体输出单元，用于输出气体以使污染物脱离所述承载面； 负压产生单元，用于产生负压以吸入所述污染物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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