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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种基片翻转镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223103058U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422365577.4，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种基片翻转镀膜装置是由薛蒙晓;顾建强设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基片翻转镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种基片翻转镀膜装置，包括回转机构、防着板、治具承板，防着板设于治具承板下方，回转机构与主腔体的顶板连接，回转机构下方设有连接支架，通过连接支架将防着板与治具承板固定；治具承板上设有多个安装孔，每个安装孔内设置有翻转件，安装孔的左右侧边设置有限位凹槽、前后两侧设置有轴套，翻转件的左右其中一侧边向外延伸有限位凸块、前后两侧设置有连接轴，其中一个连接轴上设置有向斜上方延伸的翻转杆；回转机构下方还设有翻转装置，翻转装置能够拨动翻转杆使得翻转件旋转，限位凹槽用于支撑限位凸块，翻转时连接轴的端部与轴套滑配，拆装方便同时使得旋转更丝滑不易掉落，增设防着板，使得镀膜时治具不会镀到膜。

本实用新型一种基片翻转镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种基片翻转镀膜装置，所述镀膜装置位于主腔体内的上部，其特征在于：所述镀膜装置包括回转机构（1）、防着板（2）、治具承板（3），所述防着板（2）设于治具承板（3）下方，所述回转机构（1）与主腔体的顶板连接，回转机构（1）下方设有连接支架（11），通过连接支架（11）将防着板（2）与治具承板（3）固定；所述治具承板（3）上设有多个安装孔（31），每个安装孔（31）内设置有翻转件（314），翻转件（314）用于固定基片（33），所述安装孔（31）的左右侧边设置有限位凹槽（312）、前后两侧设置有轴套（313），所述翻转件（314）的左右其中一侧边向外延伸有限位凸块（315）、前后两侧设置有连接轴（316），其中一个连接轴（316）上设置有向斜上方延伸的翻转杆（317）；所述回转机构（1）下方还设有翻转装置（4），所述翻转装置（4）能够拨动翻转杆（317）使得翻转件（314）旋转，限位凹槽（312）用于支撑限位凸块（315），使得翻转件（314）稳定并且每次旋转180°，翻转时连接轴（316）的端部与轴套（313）滑配。

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