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浙江华远微电科技有限公司杜武君获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江华远微电科技有限公司申请的专利一种膜厚测量治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223106861U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422368184.9,技术领域涉及:G01B5/06;该实用新型一种膜厚测量治具是由杜武君;周翔设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种膜厚测量治具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及膜厚测试技术领域,尤其涉及一种膜厚测量治具,包括底板,所述底板的底部和衬底接触,所述底板的顶部设有膜厚测试区以及异常检测区,所述膜厚测试区以及异常检测区内设有多个用于形成金属台阶的台阶形成组件,所述台阶形成组件的一侧设有封盖组件,本实用新型通过在膜厚测试区内设置台阶形成组件,使得衬底在镀膜的过程中形成金属台阶,并且在完成镀膜后可直接测试所制备的膜厚,有效缩短了检测时间,提前得到所需的膜厚,同时,通过设置封盖组件,可将部分台阶形成组件遮挡,从而避免不需要的金属台阶;通过在异常检测区内设置台阶形成组件,可测试产品的膜厚分布情况,提高了工作效率。

本实用新型一种膜厚测量治具在权利要求书中公布了:1.一种膜厚测量治具,其特征在于:包括底板1,所述底板1的底部和衬底接触,所述底板1的顶部设有膜厚测试区101以及异常检测区102,所述膜厚测试区101以及异常检测区102内设有多个用于形成金属台阶的台阶形成组件2,所述台阶形成组件2的一侧设有封盖组件3。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江华远微电科技有限公司,其通讯地址为:313000 浙江省湖州市吴兴区高新区中小微企业智能制造产业园一期2幢101、201、301、401号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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