宁波晶钻科技股份有限公司胡付生获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波晶钻科技股份有限公司申请的专利一种微波等离子体化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223103071U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422354836.3，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种微波等离子体化学气相沉积系统是由胡付生;刘丽;李翱翔;王海军;陶剑设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波等离子体化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：本微波等离子体化学气相沉积系统，包括有：微波谐振腔体，用于金刚石的生长；调节机构，设置在所述微波谐振腔体外，用于调节所述微波谐振腔体的体积的大小；其特征在于：所述微波谐振腔体之外设有下腔室，所述调节机构包括有驱动源以及调节部分，对应地，所述下腔室设有开口，所述开口设有第一密封组件；所述下腔室的其中一个壁部还开设有安装通道，所述安装通道设有第二密封组件。上述技术方案省去了驱动源与下腔室外壁的衔接部分，减少了漏气点，增强了下腔体的密封性；采用取电器用作外接电源接入以及第二密封组件的设置既保证了安装通道的密封性，又使得取电器不会与安装通道直接接触，具有一定的缓冲作用。
本实用新型一种微波等离子体化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体化学气相沉积系统，包括有： 微波谐振腔体1，用于金刚石的生长； 调节机构2，设置在所述微波谐振腔体1外，用于调节所述微波谐振腔体1的体积的大小； 其特征在于： 所述微波谐振腔体1之外设有下腔室3，所述调节机构2包括有驱动源21以及用于改变微波谐振腔体1的体积大小的调节部分22，对应地，所述下腔室3设有供驱动源21由外部放入其中的开口30，所述开口30设有第一密封组件4；所述下腔室3的其中一个壁部还开设有安装通道31，所述安装通道31设有第二密封组件5，以使供外部的电源接入所述驱动源21的取电器6能密封地连接在安装通道31上。
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