芯恩(青岛)集成电路有限公司王庆岩获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利隔膜、研磨机构及化学机械抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223098903U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337524.1，技术领域涉及：B24B37/11；该实用新型隔膜、研磨机构及化学机械抛光装置是由王庆岩设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本隔膜、研磨机构及化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种隔膜、研磨机构及化学机械抛光装置，其中，隔膜包括膜片本体以及凸设于膜片本体上的延伸部，延伸部上设有力传导结构，在通过气囊对膜片本体施加作用力时，力传导结构将两个气囊作用在膜片上的力传导至膜片上的受力薄弱区域，并在受力薄弱区域内进行合并，受力薄弱区域将两个气囊施加的力合并后传导至晶圆上与受力薄弱区域相对应的位置，以使隔膜上受力薄弱区域将气囊所施加的作用力传导至晶圆的表面，以避免气囊在晶圆上形成受力真空区。
本实用新型隔膜、研磨机构及化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种隔膜，其特征在于，包括： 膜片本体，沿预设平面延伸，并沿垂直于所述预设平面的方向具有相对的第一侧壁和第二侧壁； 延伸部，凸设于所述第一侧壁，并与所述膜片本体呈角度设置，所述延伸部在所述膜片本体上形成有受力薄弱区域，所述受力薄弱区域位于所述第一侧壁和所述第二侧壁之间，且所述受力薄弱区域的位置沿所述垂直于预设平面方向与所述延伸部的位置相对应； 所述延伸部上设有力传导结构，所述力传导结构位于所述延伸部和所述膜片本体之间，所述力传导结构用于将作用力传导至所述受力薄弱区域内，所述受力薄弱区将所述作用力传导至晶圆上与所述受力薄弱区相对应的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号