盐城厚泽锦业技术有限公司王先亮获国家专利权
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龙图腾网获悉盐城厚泽锦业技术有限公司申请的专利一种硅片烘干机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223106605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422329936.0,技术领域涉及:F26B15/14;该实用新型一种硅片烘干机是由王先亮;杜伟;赵文强;郑华朋设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片烘干机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片烘干机,烘干机包括第一仓,其上设有供花篮进入的入料口;第二仓,其上设有供花篮取出的出料口;第三仓,其设在第一仓与第二仓之间,第三仓内形成有内仓和循环风道,循环风道设在内仓的外周侧,第三仓内设有第一分隔部,第一分隔部将内仓分隔为上仓和下仓,下仓上设置有与循环风道连通的出风口,上仓上设置有与循环风道连通的进风口;烘干部设在上仓内,烘干部向下仓内输送热气以对硅片进行烘干;输送部被配置为输送花篮,输送部依次经由第一仓、下仓以及第二仓;排风通道与循环风道连通;第三仓内设有多个烘干工位,输送部同时输送多个花篮,花篮在任一烘干工位上停留预设时间。本方案能够提高硅片烘干效率。
本实用新型一种硅片烘干机在权利要求书中公布了:1.一种硅片烘干机,所述硅片由花篮承载,其特征在于,所述烘干机包括: 第一仓,所述第一仓上设置有供所述花篮进入的入料口; 第二仓,所述第二仓上设置有供所述花篮取出的出料口; 第三仓,所述第三仓设置在所述第一仓与所述第二仓之间,所述第三仓内形成有内仓和循环风道,所述循环风道设置在所述内仓的外周侧,所述第三仓内设置有第一分隔部,所述第一分隔部将所述内仓分隔为上仓和下仓,所述下仓上设置有与所述循环风道连通的出风口,所述上仓上设置有与所述循环风道连通的进风口; 烘干部,设置在所述上仓内,所述烘干部被配置为向所述下仓内输送热气以对硅片进行烘干; 输送部,被配置为输送所述花篮,所述输送部依次经由所述第一仓、所述下仓以及所述第二仓; 排风通道,与所述循环风道连通; 其中,所述第三仓内设置有多个烘干工位,所述输送部同时输送多个所述花篮,所述花篮在任一所述烘干工位上停留预设时间。
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