深圳市海目芯微电子装备科技有限公司蒋绍毅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市海目芯微电子装备科技有限公司申请的专利调平机构及曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108258U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422339876.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型调平机构及曝光机是由蒋绍毅;江舒航;霍荣标设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本调平机构及曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种调平机构及曝光机，涉及光刻机技术领域。调平机构包括在竖直方向上相对设置的掩模板与载台；顶升组件，所述顶升组件在所述载台的底部环设设置有至少三个，所述顶升组件始终具有顶升所述载台的趋势；多个所述顶升组件使得所述载台的四角位置之间可相对升降；固定组件，所述固定组件也设置有多个，所述固定组件与所述顶升组件一一对应设置，所述固定组件与顶升组件连接，所述固定组件用于对所述顶升组件的位置进行固定；其中，所述固定组件用于与曝光机的升降机构连接。调平机构便于对载台进行调平。曝光机包括上述调平机构。本实用新型具有便于对载台进行调平的效果。
本实用新型调平机构及曝光机在权利要求书中公布了：1.一种调平机构，其特征在于，包括： 在竖直方向上相对设置的掩模板与载台； 顶升组件，所述顶升组件在所述载台的底部环绕设置有至少三个，所述顶升组件始终具有顶升所述载台的趋势；多个所述顶升组件使得所述载台的多个方向之间可相对升降； 固定组件，所述固定组件也设置有多个，所述固定组件与所述顶升组件一一对应设置，所述固定组件与顶升组件连接，所述固定组件用于对所述顶升组件的位置进行固定； 其中，所述固定组件用于与曝光机的升降机构连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市海目芯微电子装备科技有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区高新园区观盛四路7号翰宇创新产业大楼B栋901；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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