星隆科技(江苏)有限公司朱万杰获国家专利权
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龙图腾网获悉星隆科技(江苏)有限公司申请的专利一种晶圆吸盘高度调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422305217.5，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆吸盘高度调节装置是由朱万杰设计研发完成，并于2024-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸盘高度调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆吸盘加工技术领域，公开了一种晶圆吸盘高度调节装置，包括箱体，所述箱体的顶端设置有放置板，所述放置板的顶部左端前后侧均固定连接有固块，两个所述固块的相近一端固定连接有同一个支撑杆，所述放置板的顶端固定连接有垫板，所述垫板的顶端固定连接有液压缸，所述放置板的顶端固定连接有固定盒，所述液压缸的驱动端固定连接有滑动杆，所述滑动杆的前后端均转动连接有转动杆。本实用新型中，通过启动液压缸带动滑动杆在固定盒的内部滑动，而滑动杆的两端转动有转动杆，而转动杆的另一端转动在转动板的一侧，能够满足在晶圆加工过程中，对晶圆不同部位进行特定角度处理的要求。
本实用新型一种晶圆吸盘高度调节装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸盘高度调节装置，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的顶端设置有放置板12，所述放置板12的顶部左端前后侧均固定连接有固块13，两个所述固块13的相近一端固定连接有同一个支撑杆14，所述放置板12的顶端固定连接有垫板15，所述垫板15的顶端固定连接有液压缸16，所述放置板12的顶端固定连接有固定盒17，所述液压缸16的驱动端固定连接有滑动杆18，所述滑动杆18的前后端均转动连接有转动杆19，两个所述转动杆19的另一端转动连接有同一个转动板20，所述转动板20的顶端固定连接有吸附盘21，所述箱体1的内部设置有对所述放置板12进行升降的升降组件，所述箱体1的底端设置有对所述箱体1进行移动的移动组件。
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