浙江创芯集成电路有限公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种匀胶单元获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108255U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422305416.6，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种匀胶单元是由张勇设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种匀胶单元在说明书摘要公布了：本申请提供了一种匀胶单元，包括匀胶单元主体，设置有滑轨；晶圆承载模块，位于匀胶单元主体上，且与滑轨相对设置，晶圆承载模块用于放置晶圆，且晶圆承载模块可绕晶圆承载模块的中心轴旋转；喷涂臂，一端位于滑轨中，另一端连接喷头；喷头上设置有至少一个喷嘴，其中，每个喷嘴的底面上设置有至少一个用于喷洒光刻胶的出液孔，当喷嘴喷涂光刻胶时，喷涂臂在滑轨内移动，以带动喷头从晶圆的圆心向晶圆的边缘移动。本申请提供的匀胶单元通过在喷涂光刻胶的过程中，同时使晶圆承载模块转动晶圆以及喷涂臂带动喷头移动，并且将喷头上的喷嘴设置为具有多个出液孔，从而可以提高光刻胶喷涂的均匀性，避免涂布不均匀的问题。
本实用新型一种匀胶单元在权利要求书中公布了：1.一种匀胶单元，其特征在于，包括： 匀胶单元主体，沿所述匀胶单元主体的延伸方向上设置有滑轨； 晶圆承载模块，位于所述匀胶单元主体上，且与所述滑轨相对设置，所述晶圆承载模块用于放置晶圆，且所述晶圆承载模块可绕其中心轴旋转； 喷涂臂，一端位于所述滑轨中，另一端连接喷头； 所述喷头上设置有至少一个喷嘴，其中，每个所述喷嘴上设置有至少一个用于喷洒光刻胶的出液孔，当所述喷嘴喷涂光刻胶时，所述喷涂臂在所述滑轨内移动，以带动所述喷头从所述晶圆的边缘沿着晶圆的直径方向移动，所述晶圆的直径方向与所述匀胶单元主体的延伸方向平行。
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