华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司付永旭获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司申请的专利片环承载装置及晶圆贴膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223108849U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422156969.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型片环承载装置及晶圆贴膜设备是由付永旭;刘志动;刘远航;李森;赵德文设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本片环承载装置及晶圆贴膜设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种片环承载装置及晶圆贴膜设备。其中,片环承载装置包括:承载平台,用于与晶圆贴膜设备相连接;移动机构,可移动地设置于承载平台;放置机构,连接于所述移动机构,用于放置片环;锁定机构,连接于所述承载平台,用于在所述移动机构移入所述承载平台时锁紧所述移动机构,以及在移出所述承载平台添加片环时释放所述移动机构。与相关技术中的人工深入设备框架内侧的片环上料方式相比,本申请实施例可通过移动机构将放置机构从承载平台移出,进而从晶圆贴膜设备中移出添加片环,这种在晶圆贴膜设备外添加片环的方式不仅方便人工操作,同时也减小工人的劳动强度。此外,还可显著缩短晶圆贴膜设备的片环上料时间,提高生产效率。
本实用新型片环承载装置及晶圆贴膜设备在权利要求书中公布了:1.一种片环承载装置,用于晶圆贴膜设备,其特征在于,包括: 承载平台,用于与所述晶圆贴膜设备相连接; 移动机构,可移动地设置于所述承载平台; 放置机构,连接于所述移动机构,用于放置片环; 锁定机构,连接于所述承载平台,用于在所述移动机构移入所述承载平台时锁紧所述移动机构,以及在移出所述承载平台添加片环时释放所述移动机构。
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