东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张之光获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束检测设备的样品容纳装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108840U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422132519.7，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型电子束检测设备的样品容纳装置是由张之光;郝琪;何跃;许鸿亮;张禧晨;董金辉设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束检测设备的样品容纳装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电子束检测设备的样品容纳装置，电子束检测设备的样品容纳装置包括：箱体，包括具有开口的样品腔室；盖板，和开口匹配，以用于开启或者关闭样品腔室；以及至少一个能够伸缩的启闭机构，固定设置于箱体的侧壁且其伸缩端与盖板连接，启闭机构通过伸缩，以使盖板关闭或打开样品腔室。通过能够升降的启闭机构以取代电葫芦，通过机械或电动驱动实现盖板的自动升降，以减少人工干预。不仅提高了工作效率，还降低了操作难度和安全风险。将启闭机构固定于箱体侧壁，而非顶部或需要额外空间的位置，有效利用了箱体周边的空间资源。
本实用新型电子束检测设备的样品容纳装置在权利要求书中公布了：1.一种电子束检测设备的样品容纳装置，其特征在于，包括： 箱体10，包括具有开口a的样品腔室A； 盖板20，和所述开口a匹配，以用于开启或者关闭所述样品腔室A；以及 至少一个能够伸缩的启闭机构30，固定设置于所述箱体10的侧壁且其伸缩端与所述盖板20连接；所述启闭机构30通过伸缩，以使所述盖板20关闭或打开所述样品腔室A。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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