常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种CVD反应炉炉体冷却结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223106705U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422116874.5,技术领域涉及:F27D9/00;该实用新型一种CVD反应炉炉体冷却结构是由冯磊设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD反应炉炉体冷却结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及冷却结构技术领域,且公开了一种CVD反应炉炉体冷却结构,包括第一炉壳和第二炉壳,第一炉壳和第二炉壳内侧均开设有冷却腔,第一炉壳和第二炉壳一侧分别固定有进水管和出水管;第一炉壳和第二炉壳内侧设置有用于CVD涂层加工的炉体主体;第一炉壳一侧设置有连接组件,连接组件一侧设置有提示组件;通过第一炉壳和第二炉壳内部与炉体主体接触,对炉体主体进行降温,与炉体主体热交换后的水,通过出水管排出,冷却水通过进水管进入冷却腔,与炉体主体直接接触,通过热交换过程有效地将炉体主体产生的热量带走,从而实现对炉体主体的降温,降低炉体主体的温度,可以减少因高温引起的热应力、热变形等问题,从而提高设备的稳定性。
本实用新型一种CVD反应炉炉体冷却结构在权利要求书中公布了:1.一种CVD反应炉炉体冷却结构,包括第一炉壳1和第二炉壳2,其特征在于:所述第一炉壳1和第二炉壳2内侧均开设有冷却腔8,所述第一炉壳1和第二炉壳2一侧分别固定有进水管4和出水管7; 所述第一炉壳1和第二炉壳2内侧设置有用于CVD涂层加工的炉体主体3; 所述第一炉壳1一侧设置有连接组件5,所述连接组件5一侧设置有提示组件6; 所述连接组件5包括数量为两个的固定架51和数量为若干个的限位块56,所述限位块56一侧开设有锁槽58,所述固定架51内壁滑动连接有第一滑板55,所述第一滑板55两侧分别固定有拉杆52和锁杆57,所述拉杆52外侧套接有第一弹簧54。
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