福建金石能源有限公司张振波获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223097428U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422090051.X，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置是由张振波;黄文智;杜浩坤;苏纬君;许志祥;林小强;张清江设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置，包括安装在载板上的至少一组毛刷机构和胶条机构，所述毛刷机构由毛刷、毛刷固定座、毛刷固定直角块和毛刷固定螺栓组成，毛刷安装在毛刷固定座上，毛刷固定座两端分别连接毛刷固定直角块，所述毛刷机构在通过两边毛刷固定直角块安装到载板边框边缘并通过毛刷固定螺栓固定，所述胶条机构由胶条、胶条固定座、胶条固定直角块和胶条固定螺栓组成，胶条安装在胶条固定座上，胶条固定座两端分别连接胶条固定直角块。利用现有载板边框作为传送边结构，可实现快速导入，不需要破空开腔在线清洁，节约成本及提高产能。
本实用新型一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD载板真空腔内新型清洁装置，其特征在于：包括安装在载板上的至少一组毛刷机构和胶条机构，所述毛刷机构和胶条机构相互平行设置，所述毛刷机构由毛刷、毛刷固定座、毛刷固定直角块和毛刷固定螺栓组成，所述毛刷安装在毛刷固定座上，所述毛刷固定座两端分别连接毛刷固定直角块，所述毛刷机构在通过两边毛刷固定直角块安装到载板边框边缘并通过毛刷固定螺栓固定，所述胶条机构由胶条、胶条固定座、胶条固定直角块和胶条固定螺栓组成，所述胶条安装在胶条固定座上，所述胶条固定座两端分别连接胶条固定直角块，所述胶条机构在通过两边胶条固定直角块安装到载板边框边缘并通过胶条固定螺栓固定。
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