江苏微导纳米科技股份有限公司陈程获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108862U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422094888.1，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置是由陈程;盛玉长;陈云;廖宝臣设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置，通过对硅片的承载舟的结构进行改进，从而提高硅片加工的良品率。承载舟能够放置于炉管内，炉管内流通有加工气体，所述硅片的承载舟包括两个端板和间隔组件，两个所述端板在第一方向间隔布设，所述间隔组件位于两个所述端板之间，并与所述端板之间限定有至少两个载片腔部，各所述载片腔部内均可容纳有若干硅片，位于同一所述载片腔部内的硅片沿所述第一方向依次排列；各所述载片腔部均设置有进气通道，所述进气通道的延伸方向与所述第一方向相垂直。通过采用本申请的技术方案，能够减小硅片所受压力，避免硅片发生损伤，提高硅片加工的良品率。
本实用新型一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片的承载舟，其特征在于，包括两个端板（21）和间隔组件，两个所述端板（21）在第一方向（x）间隔布设，所述间隔组件位于两个所述端板（21）之间，并与所述端板（21）之间限定有至少两个载片腔部（22），各所述载片腔部（22）内均可容纳有若干硅片（4），位于同一所述载片腔部（22）内的所述硅片（4）沿所述第一方向（x）依次排列； 各所述载片腔部（22）均设置有进气通道（5），所述进气通道（5）的延伸方向与所述第一方向（x）相垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214111 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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