均豪精密工业股份有限公司徐玉杰获国家专利权
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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利晶圆载具充气监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108847U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422036937.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆载具充气监控装置是由徐玉杰;李孟轩;姜品谦;李政宪设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具充气监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆载具充气监控装置，适于负载平台上的晶圆载具，所述晶圆载具充气监控装置包括排气模块、供气模块及电磁阀岛组件。电磁阀岛组件连接排气模块与供气模块，电磁阀岛组件用以控制供气模块与排气模块对晶圆载具的动作时序，使排气模块先对晶圆载具抽取晶圆载具之内的气体，再使供气模块对晶圆载具之内提供气体。
本实用新型晶圆载具充气监控装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具充气监控装置，适于一负载平台上的一晶圆载具，其特征在于，所述晶圆载具充气监控装置包括： 一排气模块； 一供气模块；以及 一电磁阀岛组件，连接该排气模块与该供气模块，该电磁阀岛组件用以控制该供气模块与该排气模块对该晶圆载具的动作时序，以使该排气模块先对该晶圆载具抽取该晶圆载具之内的一气体，再使该供气模块对该晶圆载具之内提供该气体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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