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重庆邮电大学黄义获国家专利权

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龙图腾网获悉重庆邮电大学申请的专利集成沟道积累型二极管的SiC MOSFET器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118763115B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411099128.8,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权集成沟道积累型二极管的SiC MOSFET器件是由黄义;章先锋;高升;吴艳君设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

集成沟道积累型二极管的SiC MOSFET器件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种集成沟道积累型二极管的SiCMOSFET器件,属于功率半导体器件技术领域。该器件包括源极、N+接触区、P‑body区、CSL层、CSL层两侧的P‑shield区、多晶硅栅介质、连接栅极的多晶硅栅、连接源极的多晶硅栅、N型外延层、N型衬底以及漏极。本发明在器件体内形成沟道积累型二极管,其中沟道积累型二极管由右侧的N+接触区、N+接触区下面的CSL层、N+接触区左右两侧的多晶硅栅介质和连接源极的多晶硅栅组成。本发明可以提升第三象限性能,实现低反向导通电压和反向恢复电荷且避免双极退化问题;在提升第三象限性能的同时减少了开关损耗,降低了栅源电容,增强了高频工作性能。

本发明授权集成沟道积累型二极管的SiC MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种集成沟道积累型二极管的SiCMOSFET器件,其特征在于,该器件包括: 源极1,位于器件最上方; P-shield区8,分为左右两部分,位于源极1下面的左右侧; 多晶硅栅介质7,分为左右两部分,位于源极1下面中部位置; N+接触区2,分为左右两部分,位于源极1下面中部位置,其左侧部分的右表面与多晶硅栅介质7左侧部分的左表面接触,其左侧部分的左表面与P-shield区8左侧部分的右表面接触,其右侧部分的左表面与多晶硅栅介质7左侧部分的右表面接触,其右侧部分的右表面与多晶硅栅介质7右侧部分的左表面接触; P-body区3,位于N+接触区2左侧部分的下面,其右侧与多晶硅栅介质7左侧部分的左表面接触,其左侧与P-shield区8左侧部分的右表面接触; CSL层4,位于N+接触区2右侧部分、P-body区3和多晶硅栅介质7下面,其左右表面分别与P-shield区8左右侧部分接触; 连接栅极的多晶硅栅5,位于多晶硅栅介质7左侧部分的内部左边; 连接源极的多晶硅栅6,位于多晶硅栅介质7左侧部分的内部右边和多晶硅栅介质7右侧部分内部; N型外延层9,位于CSL层4下面; N型衬底10,位于N型外延层9下面; 漏极11,位于N型衬底10下面; 所述N+接触区2右侧部分、CSL层4、连接源极的多晶硅栅6以及位于连接源极的多晶硅栅6中间的多晶硅栅介质7构成沟道积累型二极管; 环绕连接源极的多晶硅栅6的多晶硅栅介质7的环形宽度为20~50nm;所述N+接触区2右侧部分的宽度W6为0.1~0.3μm;环绕连接栅极的多晶硅栅5的多晶硅栅介质7的环形宽度为50nm;连接栅极的多晶硅栅5和连接源极的多晶硅栅6中间的多晶硅栅介质7宽度为100nm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人重庆邮电大学,其通讯地址为:400065 重庆市南岸区黄桷垭崇文路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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